[发明专利]一种适用于高纯介质提纯的换热器及其制备方法

说明书

本发明提供一种适用于高纯介质提纯的换热器，包括壳体和设置在壳体内的盘管；所述壳体从上而下依次由盖板、筒身、法兰和底板构成，所述盘管包括弯管、输入主管和输出主管，所述弯管呈圆环形结构，由数根内壁经过EP处理的不锈钢EP管再经盘管处理后紧密排列制成；所述弯管的进口端与输入主管连接，其出口端与输出主管连接，且所述弯管与输入主管和输出主管不在同一平面上。本发明还提供了一种适用于高纯介质提纯的换热器的制备方法。本发明的盘管为内壁经过EP处理的不锈钢EP管，更能适用于半导体行业所需要的高纯气体环境，提纯效果更好，且换热器管路采用盘管处理方式紧密排列，换热面积大，效率高，与同等换热效率的换热器相比，占地体积较小。

技术领域

本发明涉及换热器领域，具体地，涉及一种适用于高纯介质提纯的换热器及其制备方法。

背景技术

由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要经常使用特殊气体，目前我们国家也越来越提倡使用国内技术和国产气体，所以高纯气体的提纯技术就显得尤其关键。在以往的普通换热器的提纯技术中，换热器使用的管路为普通管路，达不到高纯的要求，所以高纯介质的提纯就多了一些限制，另外市场上同等效率的换热器，做不到密集盘管的效果，占地体积较大。

EP即电解抛光(Electro Polishing)，也称电抛光，是利用阳极在电解池中所产生的电化学溶解现象，使阳极上的微光凸起部分发生选择性溶解以形成平滑表面的方法。是一个复杂的阳极氧化过程，伴随着工件表面的溶解和氧化，但又不同于阳极氧化。对不锈钢管进行EP处理，制成的不锈钢EP管现在被广泛使用于半导体行业、液晶行业、太阳能行业、药品行业、仪表系统、压缩空气、超高纯气体、化学品系统、WFI系统和其他有高纯和超高纯要求的气体管道系统或无尘室或者设备方面。

发明内容

针对现有技术中的缺陷，本发明的目的是提供一种适用于高纯介质提纯的换热器及其制备方法，本发明的盘管为内壁经过EP处理的不锈钢EP管，更能够适用于半导体行业所需要的高纯气体环境，提纯效果更好，且换热器管路采用盘管处理方式紧密排列，换热面积大，效率高，与同等换热效率的换热器相比，占地体积较小。

根据本发明的一个方面，提供一种适用于高纯介质提纯的换热器，包括壳体和设置在壳体内的盘管(1)；所述壳体从上而下依次由盖板(2)、筒身(3)、法兰(4)和底板(5)构成，所述盖板(2)、筒身(3)和法兰(4)通过焊接连接形成容纳盘管(1)的腔体，所述法兰(4)和底板(5)之间设有密封用的垫片，所述法兰(4)与底板(5)通过螺栓和螺母连接固定；所述盖板(2)上设有2个开口，分别为在换热器腔体内部温度升高时用于排气的排气口(6)，以及在清洗管路时用于排掉管路中的脏物和清洗介质的排净口(7)，所述盖板(2)的内侧设有2个用于固定盘管(1)的开槽(8)；所述底板(5)的内部设有4个开口，分别为换热介质进出的壳程进口(9)和壳程出口(10)，以及提纯的物质进出的管程进口(11)和管程出口(12)，所述底板(5)上还设有用于排放换热器腔体内物质的排放口(13)；

所述盘管(1)包括弯管(14)、输入主管(15)和输出主管(16)，所述弯管(14)呈圆环形结构，由数根内壁经过EP处理的不锈钢EP管再经盘管处理后紧密排列制成；所述弯管(14)的进口端与输入主管(15)连接，其出口端与输出主管(16)连接，且所述弯管(14)与输入主管(15)和输出主管(16)不在同一平面上。因为标准的管子长度为6米一根，而换热器中作为弯管的每根管子超过6米时，需先将6米一根的标准管子焊接起来，然后再进行盘管工作。

优选的，所述弯管(14)与输入主管(15)和输出主管(16)垂直设置。

优选的，所述弯管(14)的直径比输入主管(15)和输出主管(16)的直径小。

优选的，所述筒身(3)的一侧壁上设有固定板，所述固定板上通过铆接方式固定安装有铭牌(17)。