[发明专利]一种适用于高纯介质提纯的换热器及其制备方法在审
申请号: | 201910022318.2 | 申请日: | 2019-01-10 |
公开(公告)号: | CN109631621A | 公开(公告)日: | 2019-04-16 |
发明(设计)人: | 甘万;杨欣 | 申请(专利权)人: | 上海盛韬半导体科技有限公司 |
主分类号: | F28D7/04 | 分类号: | F28D7/04;F28F21/08;B21D53/06 |
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地址: | 201315 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 换热器 盘管 弯管 主管 提纯 高纯 紧密排列 壳体 内壁 输出 不锈钢 制备 底板 半导体行业 换热器管路 圆环形结构 处理方式 从上而下 高纯气体 提纯效果 热效率 出口端 进口端 盖板 法兰 换热 经盘 筒身 体内 | ||
1.一种适用于高纯介质提纯的换热器,其特征在于,包括壳体和设置在壳体内的盘管(1);所述壳体从上而下依次由盖板(2)、筒身(3)、法兰(4)和底板(5)构成,所述盖板(2)、筒身(3)和法兰(4)通过焊接连接形成容纳盘管(1)的腔体,所述法兰(4)和底板(5)之间设有密封用的垫片,所述法兰(4)与底板(5)通过螺栓和螺母连接固定;所述盖板(2)上设有2个开口,分别为在换热器腔体内部温度升高时用于排气的排气口(6),以及在清洗管路时用于排掉管路中的脏物和清洗介质的排净口(7),所述盖板(2)的内侧设有2个用于固定盘管(1)的开槽(8);所述底板(5)的内部设有4个开口,分别为换热介质进出的壳程进口(9)和壳程出口(10),以及提纯的物质进出的管程进口(11)和管程出口(12),所述底板(5)上还设有用于排放换热器腔体内物质的排放口(13);
所述盘管(1)包括弯管(14)、输入主管(15)和输出主管(16),所述弯管(14)呈圆环形结构,由数根内壁经过EP处理的不锈钢EP管再经盘管处理后紧密排列制成;所述弯管(14)的进口端与输入主管(15)连接,其出口端与输出主管(16)连接,且所述弯管(14)与输入主管(15)和输出主管(16)不在同一平面上。
2.根据权利要求1所述的适用于高纯介质提纯的换热器,其特征在于,所述弯管(14)与输入主管(15)和输出主管(16)垂直设置。
3.根据权利要求1所述的适用于高纯介质提纯的换热器,其特征在于,所述弯管(14)的直径比输入主管(15)和输出主管(16)的直径小。
4.根据权利要求1所述的适用于高纯介质提纯的换热器,其特征在于,所述筒身(3)的一侧壁上设有固定板,所述固定板上通过铆接方式固定安装有铭牌(17)。
5.根据权利要求1所述的适用于高纯介质提纯的换热器,其特征在于,所述盖板(2)的顶端连接有吊装整台换热器的吊耳(18)。
6.根据权利要求1所述的适用于高纯介质提纯的换热器,其特征在于,所述盖板(2)、筒身(3)、法兰(4)、底板(5)和垫片均为圆形结构。
7.根据权利要求6所述的适用于高纯介质提纯的换热器,其特征在于,所述底板(5)的壁沿上对称设置有安装板(19),所述安装板(19)上设有安装孔。
8.根据权利要求1所述的适用于高纯介质提纯的换热器,其特征在于,所述输入主管(15)和输出主管(16)分别与管程进口(11)和管程出口(12)连接固定。
9.一种适用于高纯介质提纯的换热器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一,将数根标准不锈钢EP管首尾焊接连接成设定长度的样品管;
步骤二,将所述样品管的进口端依次与输入主管(15)焊接连通;
步骤三,通过弯管设备进行盘管处理,并紧密排列形成圆环形结构的弯管(14);
步骤四,再将弯管(14)的出口端与输出主管(16)焊接连通,制成完整的盘管(1);
步骤五,将盘管(1)放入盖板(2)、筒身(3)和法兰(4)焊接形成的腔体中,并通过盖板(2)上的开槽(8)固定,最后依次安装垫片和底板(5),并通过螺栓和螺母将法兰(4)和底板(5)连接固定。
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