[发明专利]化学气相沉积设备及其机械手

摘要

本申请实施例提供了一种化学气相沉积设备及其机械手。该化学气相沉积设备的机械手包括并列设置的两个以上的托杆；所述两个以上的托杆的顶部为承载面，用于承载玻璃基板；所述托杆包括一个以上的连接组件和两个以上的子托杆，所述两个以上的子托杆依次连接设置，并且任意两相邻的子托杆之间通过所述连接组件固定连接。本申请实施例实现了机械手在满足耐高温和平坦的基础上进行了增长，使得该机械手可以适用于液晶领域高世代线中，不仅提高了本申请提供的机械手的适用范围，而且有效的解决了大尺寸玻璃基板的搬运问题。

主权项

1.一种化学气相沉积设备的机械手，其特征在于，包括并列设置的两个以上的托杆；所述两个以上的托杆的顶部为承载面，用于承载玻璃基板；所述托杆包括一个以上的连接组件和两个以上的子托杆，所述两个以上的子托杆依次连接设置，并且任意两相邻的子托杆之间通过所述连接组件固定连接。