[发明专利]化学气相沉积设备及其机械手

说明书

本申请实施例提供了一种化学气相沉积设备及其机械手。该化学气相沉积设备的机械手包括并列设置的两个以上的托杆；所述两个以上的托杆的顶部为承载面，用于承载玻璃基板；所述托杆包括一个以上的连接组件和两个以上的子托杆，所述两个以上的子托杆依次连接设置，并且任意两相邻的子托杆之间通过所述连接组件固定连接。本申请实施例实现了机械手在满足耐高温和平坦的基础上进行了增长，使得该机械手可以适用于液晶领域高世代线中，不仅提高了本申请提供的机械手的适用范围，而且有效的解决了大尺寸玻璃基板的搬运问题。

技术领域

本申请涉及化学气相沉积设备技术领域，具体而言，本申请涉及一种化学气相沉积设备及其机械手。

背景技术

目前在液晶领域的高世代线中，化学气相沉积设备的机械手需要在高温及真空的环境下工作，现有技术中的机械手一般采用陶瓷工艺制成。但是随着液晶领域的世代线的不断升级，玻璃基板的尺寸越来越大，因此对于机械手的长度要求越来越高，然而现有的陶瓷工艺已经无法增长机械手，无法满足液晶领域高世代线对于机械手长度的需求。

发明内容

本申请针对现有方式的缺点，提出一种化学气相沉积设备及其机械手，用以解决现有技术存在的机械手难以在满足耐高温和平坦的基础上进行增长的缺陷。

第一个方面，本申请实施例提供了一种化学也相沉积设备的机械手，包括并列设置的两个以上的托杆；

所述两个以上的托杆的顶部为承载面，用于承载玻璃基板；

所述托杆包括一个以上的连接组件和两个以上的子托杆，所述两个以上的子托杆依次连接设置，并且任意两相邻的子托杆之间通过所述连接组件固定连接。

于本申请的一实施例中，所述连接组件呈套筒结构，所述套筒结构的两端分别套设于所述两相邻的子托杆的端部上，并且所述套筒结构的顶部厚度略高于所述承载面。

于本申请的一实施例中，所述套筒结构与所述两相邻的子托杆之间的连接方式为卡接、粘接或焊接。

于本申请的一实施例中，所述连接组件包括第一组件及第二组件，所述第一组件固定设置于所述两相邻的子托杆的顶部，所述第二组件固定设置于所述两相邻的子托杆的底部。

于本申请的一实施例中，所述第一组件的顶面高于所述承载面，且所述顶面与所述承载面之间的高度差在预设的高度差范围内。

于本申请的一实施例中，所述第二组件包括依次连接的连接部、竖直部及支撑部，所述连接部及支撑部分别与两相邻的子托杆固定连接；所述竖直部的顶端与所述连接部相连，所述竖直部的底端与所述支撑部相连，并且所述竖直部与所述支撑部之间的夹角小于90度。

于本申请的一实施例中，所述第一组件及第二组件与所述两相邻的子托杆之间的连接方式为粘接或焊接。

于本申请的一实施例中，所述子托杆为陶瓷材质的子托杆。

第二个方面，本申请实施例提供了一种化学气相沉积设备，包括驱动机构以及如本申请的第一个方面提供的化学气相沉积设备的机械手，所述机械手固定设置于所述驱动机构上，所述驱动机构用于带动所述机械手移动。

于本申请的一实施例中，所述机械手为两个以上，且所述两个以上的机械手沿垂直方向层叠设置。

本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果是：

本申请通过设置有两个以上的子托杆组成的托杆，并且在两相邻的子托杆之间采用连接组件固定连接，可以有效的防止机械手随着长度的增加，由于边缘重力的影响而导致的弯曲，实现了机械手在满足耐高温和平坦的基础上进行了增长，使得本申请实施例在搬运玻璃基板的过程中性能更加稳定，不易弯曲从而有效提高了本申请实施例的使用寿命。另外本申请可以适用于液晶领域高世代线中，不仅提高了本申请的适用范围，而且有效的解决了大尺寸玻璃基板的搬运问题。