[发明专利]化学气相沉积设备及其机械手

权利要求书

1.一种化学气相沉积设备的机械手，其特征在于，包括并列设置的两个以上的托杆；

所述两个以上的托杆的顶部为承载面，用于承载玻璃基板；

所述托杆包括一个以上的连接组件和两个以上的子托杆，所述两个以上的子托杆依次连接设置，并且任意两相邻的子托杆之间通过所述连接组件固定连接；

所述连接组件包括第一组件及第二组件，所述第一组件固定设置于所述两相邻的子托杆的顶部，所述第二组件固定设置于所述两相邻的子托杆的底部；

所述第二组件包括依次连接的连接部、竖直部及支撑部，所述连接部及支撑部分别与两相邻的子托杆固定连接；所述竖直部的顶端与所述连接部相连，所述竖直部的底端与所述支撑部相连，并且所述竖直部与所述支撑部之间的夹角小于90度。

2.如权利要求1所述的化学气相沉积设备的机械手，其特征在于，所述第一组件的顶面高于所述承载面，且所述顶面与所述承载面之间的高度差在预设的高度差范围内。

3.如权利要求1所述的化学气相沉积设备的机械手，其特征在于，所述第一组件及第二组件与所述两相邻的子托杆之间的连接方式为粘接或焊接。

4.如权利要求1所述的化学气相沉积设备的机械手，其特征在于，所述子托杆为陶瓷材质的子托杆。

5.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括驱动机构以及如权利要求1至4的任一所述的化学气相沉积设备的机械手，所述机械手固定设置于所述驱动机构上，所述驱动机构用于带动所述机械手移动。

6.如权利要求5所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述机械手为两个以上，且所述两个以上的机械手沿垂直方向层叠设置。