[发明专利]一种掩膜板的制备方法、掩膜板有效
| 申请号： | 201910008043.7 | 申请日： | 2019-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN109468588B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 朱海彬;董学;袁广才;王伟杰;张峰杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张京波;曲鹏 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜板的制备方法、掩膜板，所述方法包括：控制掩膜板本体和/或框架的温度达到初始温度，将掩膜板本体与框架组装在一起；控制掩膜板本体和框架的温度分别达到最终温度，并通过掩膜板本体和/或框架温度的变化，使框架对掩膜板本体产生预定的拉伸量；使掩膜板制作过程中不需要拉伸及位置精度调整的复杂工艺，简单高效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板的制备方法，其特征在于，包括：控制掩膜板本体和/或框架的温度达到初始温度，将掩膜板本体与框架组装在一起；控制掩膜板本体和框架的温度分别达到最终温度，并通过掩膜板本体和/或框架温度的变化，使框架对掩膜板本体产生预定的拉伸量。
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