[发明专利]粒子检测装置在审
| 申请号： | 201880094629.3 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN112334755A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 中井贤也;榎望 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G01N15/14 | 分类号： | G01N15/14 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 马建军;邓毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 粒子检测装置(100)具有：第1光源(11)，其射出第1照射光(L1)；第1聚光部件(31)，其具有凹状的第1反射面；第2聚光部件(32)，其具有与第1反射面对置的凹状的第2反射面；第2光源(21)，其射出第2照射光(L2)；以及第1受光元件(41)，其输出表示与第1入射光的强度对应的值的第1检测信号(D1)，在第1光源(11)射出第1照射光(L1)时，第1受光元件(41)检测第1照射光被照射到存在于对象空间(30)内的检测位置处的粒子而产生的散射光作为第1入射光，在第2光源(21)射出第2照射光(L2)时，第1受光元件(41)检测第2照射光(L2)中的由第1反射面反射后的光以及由第1反射面和第2反射面双方反射后的光作为第1入射光。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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