[发明专利]用于运输载体的设备、用于竖直地处理基板的处理系统以及切换载体的运输路径的方法有效
| 申请号： | 201880093733.0 | 申请日： | 2018-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN112189058B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 奥利弗·海默尔;克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼;拉尔夫·林登贝格 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;B65G49/07;C23C14/56;H01J37/32;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用于在真空腔室(210)中运输载体(10)的设备(100)。设备(100)包括在运输方向(T)上沿着第一运输路径(T1)设置的第一运输系统(101)。第一运输系统(101)包括第一下部轨道区段(11L)和第一上部轨道区段(11U)。第一上部轨道区段(11U)包括具有用于在载体运输空间(15)中非接触地保持载体(10)的一个或多个第一致动器(121)的一个或多个磁性轴承(120)。另外，第一上部轨道区段(11U)包括具有用于在所述运输方向(T)移动载体(10)的一个或多个第二致动器(132)的驱动单元(130)。一个或多个第一致动器(121)和一个或多个第二致动器(132)布置在载体运输空间(15)上方。另外，设备(100)包括：路径切换组件(150)，用于在路径切换方向(S)上将载体从所述第一运输路径(T1)移开；以及致动器(124)，用于修改第一下部轨道区段(11L)与第一上部轨道区段(11U)之间的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 运输 载体 设备 竖直 处理 系统 以及 切换 路径 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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