[发明专利]用于运输载体的设备、用于竖直地处理基板的处理系统以及切换载体的运输路径的方法

权利要求书

1.一种用于在真空腔室(210)中运输载体(10)的设备(100)，包括：

第一运输系统(101)，所述第一运输系统在运输方向(T)上沿着第一运输路径(T1)设置并且包括第一下部轨道区段(11L)和第一上部轨道区段(11U)，所述第一上部轨道区段(11U)包括：

一个或多个磁性轴承(120)，所述一个或多个磁性轴承(120)具有用于在载体运输空间(15)中非接触地保持所述载体(10)的一个或多个第一致动器(121)，以及

驱动单元(130)，所述驱动单元(130)具有用于在所述运输方向(T)上移动所述载体(10)的一个或多个第二致动器(132)，所述一个或多个第一致动器(121)和所述一个或多个第二致动器(132)布置在所述载体运输空间(15)上方并布置在大气空间中，并且其中所述一个或多个第二致动器(132)相对于所述一个或多个第一致动器(121)侧向地布置；

路径切换组件(150)，所述路径切换组件(150)用于在路径切换方向(S)上将所述载体从所述第一运输路径(T1)移开；以及

致动器(124)，所述致动器(124)用于修改所述第一下部轨道区段(11L)与所述第一上部轨道区段(11U)之间的距离。

2.如权利要求1所述的设备(100)，其中所述路径切换组件(150)包括一个或多个载体传送元件(152)，所述一个或多个载体传送元件(152)在所述路径切换方向(S)上是可移动的，以用于在所述路径切换方向(S)上传送所述载体(10)。

3.如权利要求1所述的设备(100)，其中所述一个或多个载体传送元件(152)连接到设置在所述真空腔室(210)外部的传送致动器(154)。

4.如权利要求2所述的设备(100)，其中所述一个或多个载体传送元件(152)连接到设置在所述真空腔室(210)外部的传送致动器(154)。

5.如权利要求1至4中任一项所述的设备(100)，其中所述一个或多个载体传送元件(152)包括用于保持所述载体(10)的载体保持部分(153)。

6.如权利要求1至4中的任一项所述的设备(100)，其中所述第一 下部轨道区段(11L)包括用于在所述运输方向(T)上引导所述载体(10)的非接触式引导布置(140)。

7.如权利要求5所述的设备(100)，其中所述第一 下部轨道区段(11L)包括用于在所述运输方向(T)上引导所述载体(10)的非接触式引导布置(140)。

8.如权利要求1至4中的任一项所述的设备(100)，其进一步包括具有至少一个稳定磁体(161)的至少一个侧面稳定装置(160)，所述至少一个侧面稳定装置(160)被配置为在横向于所述运输方向(T)的侧向方向(L)上对所述载体(10)施加恢复力(F)。

9.如权利要求5所述的设备(100)，其进一步包括具有至少一个稳定磁体(161)的至少一个侧面稳定装置(160)，所述至少一个侧面稳定装置(160)被配置为在横向于所述运输方向(T)的侧向方向(L)上对所述载体(10)施加恢复力(F)。

10.如权利要求1至4中任一项所述的设备(100)，其进一步包括安全布置(170)，所述安全布置(170)包括由以下项组成的群组中的至少一个元件：设置在所述载体运输空间(15)的至少一个侧面处的侧向防护引导元件；以及用于为所述载体(15)提供竖直支撑的安全辊(172)。

11.如权利要求1至4任一项所述的设备(100)，其进一步包括调整装置(155)，所述调整装置(155)被配置为调整由以下项组成的群组中的一者或多者：侧面 稳定装置(160)的至少一个稳定磁体(161)的相对于所述载体运输空间(15)的竖直位置、所述至少一个稳定磁体(161)的取向或角位置、侧向防护引导元件的竖直位置、以及所述侧向防护引导元件的取向或角位置。