[发明专利]电荷粒子线装置、试样加工方法和观察方法在审
| 申请号： | 201880093216.3 | 申请日： | 2018-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN112189249A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 野间口恒典;三濑大海 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;范胜杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供在需要进行各个装置之间的移动的试样的观察中容易在装置之间移动的电荷粒子线装置、试样加工方法、以及观察方法。在使用电荷粒子线加工试样上的观察对象的电荷粒子线装置中，具备：试样台，其载置上述试样；观察部，其观察上述观察对象；写入部，其向上述试样的写入位置写入上述观察对象的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 电荷 粒子 线装 试样 加工 方法 观察 | ||
【主权项】：
暂无信息
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