[发明专利]电荷粒子线装置、试样加工方法和观察方法

权利要求书

1.一种电荷粒子线装置，其使用电荷粒子线加工试样上的观察对象，其特征在于，该电荷粒子线装置具备：

试样台，其载置上述试样；

观察部，其观察上述观察对象；

写入部，其向上述试样的写入位置写入上述观察对象的信息。

2.根据权利要求1所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述观察对象的信息包含上述观察对象的位置与上述写入位置的位置关系。

3.根据权利要求2所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述写入位置是上述试样的基准位置。

4.根据权利要求1所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述写入部通过上述电荷粒子线写入上述观察对象的信息。

5.根据权利要求1所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述写入部包含冲压机。

6.根据权利要求1所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

该电荷粒子线装置还具备控制部，

上述控制部根据上述观察对象的信息，生成向上述试样写入的图案，

上述观察对象的信息作为上述图案被写入。

7.根据权利要求1所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

该电荷粒子线装置还具备显示部，

上述显示部显示向上述试样写入的上述观察对象的信息。

8.一种电荷粒子线装置，其使用电荷粒子线观察试样上的观察对象，其特征在于，该电荷粒子线装置具备：

试样台，其载置上述试样；

观察部，其使用上述电荷粒子线观察上述试样；

控制部，其读取上述观察对象的信息，

上述观察部观察在上述试样的写入位置写入的上述观察对象的信息，

上述控制部从上述观察对象的信息中读取上述观察对象的位置与上述写入位置的位置关系，

上述试样台根据上述位置关系，使上述观察对象移动到上述电荷粒子线的照射位置，

上述观察部观察上述观察对象。

9.根据权利要求8所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

在观察上述观察对象的信息之前，上述观察部以低于观察上述观察对象的信息的倍率，搜索上述观察对象的信息。

10.根据权利要求8所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

该电荷粒子线还具备显示部，

上述显示部显示通过上述观察部观察到的上述观察对象的信息。

11.一种试样加工方法，其使用电荷粒子线装置加工试样，其特征在于，该试样加工方法包括：

将上述试样插入上述电荷粒子线装置的步骤；

观察上述试样上的观察对象的步骤；

向上述试样的写入位置写入上述观察对象的信息的步骤。

12.根据权利要求11所述的试样加工方法，其特征在于，该试样加工方法还包括：

在上述写入的步骤之后，使上述试样移动的步骤。

13.一种观察方法，其使用电荷粒子线装置观察试样上的观察对象，其特征在于，该观察方法包括：

观察向上述试样写入的上述观察对象的信息的步骤；

根据上述观察对象的信息，判断上述观察对象的位置的步骤；

移动上述试样以便能够观察上述判断出的上述观察对象的位置的步骤；

观察上述观察对象的步骤。

14.根据权利要求13所述的观察方法，其特征在于，

上述观察对象的信息包括上述观察对象的位置与写入了上述观察对象的信息的上述试样上的位置的位置关系。