[发明专利]电荷粒子线装置、试样加工方法和观察方法

说明书

本发明提供在需要进行各个装置之间的移动的试样的观察中容易在装置之间移动的电荷粒子线装置、试样加工方法、以及观察方法。在使用电荷粒子线加工试样上的观察对象的电荷粒子线装置中，具备：试样台，其载置上述试样；观察部，其观察上述观察对象；写入部，其向上述试样的写入位置写入上述观察对象的信息。

技术领域

本发明涉及电荷粒子线装置、试样加工方法和观察方法。

背景技术

在以半导体领域为首的各种领域中，广泛使用聚焦离子束(FIB)装置、离子研磨装置，进行通过透射电子显微镜(TEM)、扫描透射电子显微镜(STEM)观察的试样的预处理。这时，需要使试样从实施预处理的装置向进行观察的装置移动，希望一种在装置之间容易地共享已实施预处理的部位的位置信息这样的观察对象的信息的方法。作为这样的技术，例如在专利文献1中，公开了以下的方法，即准备能够在装置之间共享的试样架，具备将观察对象的信息记录到该试样架的存储介质，由此共享观察对象的信息。在专利文献2中，公开了一种电荷粒子线装置用试样保持装置，其在支承试样的试样盒中设置存储与试样有关的数据的存储介质。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2006-156263号公报

专利文献2：日本特开2001-291483号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，在专利文献1和2记载的方法中，使用能够改写信息的存储介质，因此写入的观察对象的信息有可能会消失。另外，在从试样架或试样盒装卸试样时，有可能引起拿错。进而，在每次装卸试样时，用户必须进行信息的移动或改写，因此十分麻烦。

因此，本发明提供在需要进行多个装置之间的移动的试样的观察中，容易进行装置之间的移动的电荷粒子线装置、试样加工方法、以及观察方法。

解决问题的方案

代表性的本发明的电荷粒子线装置之一是使用电荷粒子线加工试样上的观察对象的电荷粒子线装置，其特征在于，该电荷粒子线装置具备：试样台，其载置上述试样；观察部，其观察上述观察对象；写入部，其向上述试样的写入位置写入上述观察对象的信息。

另外，本发明的电荷粒子线装置之一是使用电荷粒子线观察试样上的观察对象的电荷粒子线装置，其特征在于，该电荷粒子线装置具备：试样台，其载置上述试样；观察部，其使用上述电荷粒子线观察上述试样；控制部，其读取上述观察对象的信息，上述观察部观察在上述试样的写入位置写入的上述观察对象的信息，上述控制部从上述观察对象的信息中读取上述观察对象的位置与上述写入位置的位置关系，上述试样台根据上述位置关系，使上述观察对象移动到上述电荷粒子线的照射位置，上述观察部观察上述观察对象。

代表性的本发明的试样加工方法之一是使用电荷粒子线装置加工试样的方法，其特征在于，该方法包括：将上述试样插入上述电荷粒子线装置的步骤；观察上述试样上的观察对象的步骤；向上述试样的写入位置写入上述观察对象的信息的步骤。

代表性的本发明的观察方法之一是使用电荷粒子线装置观察试样上的观察对象的观察方法，其特征在于，该观察方法包括：观察向上述试样写入的上述观察对象的信息的步骤；根据上述观察对象的信息，判断上述观察对象的位置的步骤；移动上述试样以便能够观察上述判断出的上述观察对象的位置的步骤；观察上述观察对象的步骤。

发明效果

根据本发明，在需要进行多个装置之间的移动的试样的观察中，能够容易地进行装置之间的移动。

根据以下的实施方式的说明能够了解上述以外的问题、结构、以及效果。

附图说明

图1是表示第一实施方式所涉及的电荷粒子线装置的概要图。