[发明专利]成膜用掩模以及使用其之显示装置的制造方法在审
| 申请号： | 201880090172.9 | 申请日： | 2018-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN111788327A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 园田通;宫本惠信 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 郝家欢 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的成膜用掩模(50a)，包括：设置为框状的掩模主体(41)、设置为从掩模主体(41)向框内突出的突出部(42a)，并且与被成膜基板相对地配置，所述成膜用掩模(50a)的特征在于，在突出部(42a)的表面上，设置有凹部(R)，上述凹部以不到达突出部(42a)的框内侧的端部。 | ||
| 搜索关键词： | 成膜用掩模 以及 使用 显示装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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