[发明专利]检查装置及其检查方法有效
| 申请号： | 201880089650.4 | 申请日： | 2018-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111727369B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 幕内雅巳;本田敏文;小原伸裕;松本俊一;浜松玲 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种在被检查物旋转的加减速中也能够检查异物的检查装置。检查装置包括：使被检查物旋转和平移的旋转/平移单元；调制激光束的强度而对被检查物照射激光束的光强度调制单元；基于电压控制信号来多等级地控制光强度调制单元的光强度控制单元；被检查物动作检测单元，其基于来自旋转/平移单元的旋转坐标和平移坐标检测信号来计算被检查物上的激光照射位置处的线速度信息；数据处理单元，其在被检查物旋转速度在加速中到达规定速度时开始异物和缺陷的检查，并输出用于控制与线速度对应的激光束的强度的电压控制信号；和旋转/平移控制单元，其基于由被检查物动作检测单元检测出的被检查物旋转速度和旋转控制值来求取旋转台下一次旋转一周的时间，并对平移台赋予用于使平移台在该时间移动规定距离的平移控制值。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社日立高新技术，未经株式会社日立高新技术许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880089650.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
