[发明专利]检查装置及其检查方法

权利要求书

1.一种被检查物表面的异物和缺陷的检查装置，其特征在于，包括：

使所述被检查物旋转和平移的旋转/平移单元；

调制激光束的强度而对所述被检查物照射激光束的光强度调制单元；

基于电压控制信号来多等级地控制所述光强度调制单元的光强度控制单元；

被检查物动作检测单元，其基于来自所述旋转/平移单元的旋转坐标和平移坐标检测信号来计算所述被检查物上的激光照射位置处的线速度信息；

数据处理单元，其在被检查物旋转速度在加速中到达规定速度时开始异物和缺陷的检查，并输出用于控制与所述线速度对应的激光束的强度的电压控制信号；和

旋转/平移控制单元，其基于由所述被检查物动作检测单元检测出的被检查物旋转速度和旋转控制值来求取旋转台下一次旋转一周的时间，并对平移台赋予用于使平移台在该时间移动规定距离的平移控制值。

2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于：

所述旋转/平移控制单元在到了使被检查物旋转速度减速的时刻时，对旋转台赋予减速旋转控制值，并对平移台赋予用于使平移台在旋转台下一次旋转一周的时间移动规定距离的平移控制值，

所述数据处理单元在所述平移台的平移速度成为0时结束检查。

3.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于：

所述数据处理单元，当根据使激光在被检查物上螺旋状地扫描得到的散射光而判断为存在规定大小以上的异物时，将与该异物的大小相同的尺寸或者在该异物的大小的两侧加上规定宽度而得到的尺寸，假设在向螺旋状轨迹的外周方向移动后的位置关系下在下一个螺旋状扫描轨迹上存在大直径异物的区域来进行设定，在对下一个螺旋状扫描轨迹照射激光时，输出用于减弱对假设为所述存在大直径异物的区域照射的激光强度的电压控制信号。

4.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于：

所述光强度调制单元是将光调制元件和偏振分束器在激光的光轴方向上排列配置而构成的。

5.一种由异物检查装置进行的被检查物表面的异物和缺陷的检查方法，其特征在于：

使载置被检查物并使其进行旋转动作和平移动作的旋转/平移单元开始匀加速的旋转动作，

在被检查物的旋转速度到达规定速度时，使激光束开始对被检查物的中心位置照射，同时使旋转/平移单元开始平移动作，

被检查物动作检测单元基于来自所述旋转/平移单元的旋转坐标和平移坐标检测信号来计算所述被检查物上的激光照射位置处的线速度信息，

旋转/平移控制单元基于由所述被检查物动作检测单元检测出的被检查物旋转速度和旋转控制值来求取旋转台下一次旋转一周的时间，并对平移台赋予用于使平移台在该时间移动规定距离的平移控制值，

数据处理单元在被检查物旋转速度在加速中到达规定速度时开始异物和缺陷的检查，并输出用于控制与所述线速度对应的激光束的强度的电压控制信号，

光强度控制单元基于所述电压控制信号来多等级地调制激光束的强度而对所述被检查物照射激光束。

6.如权利要求5所述的检查方法，其特征在于：

所述旋转/平移控制单元还在到了使被检查物旋转速度减速的时刻时，对旋转台赋予减速旋转控制值，并对平移台赋予用于使平移台在旋转台下一次旋转一周的时间移动规定距离的平移控制值，

所述数据处理单元还在所述平移台的平移速度成为0时结束检查。

7.如权利要求5所述的检查方法，其特征在于：

所述数据处理单元，当根据使激光在被检查物上螺旋状地扫描得到的散射光而判断为存在规定大小以上的异物时，将与该异物的大小相同的尺寸或者在该异物的大小的两侧加上规定宽度而得到的尺寸，假设在向螺旋状轨迹的外周方向移动后的位置关系下在下一个螺旋状扫描轨迹上存在大直径异物的区域来进行设定，在对下一个螺旋状扫描轨迹照射激光时，输出用于减弱对假设为所述存在大直径异物的区域照射的激光强度的电压控制信号。