[发明专利]清洁装置有效
| 申请号： | 201880088844.2 | 申请日： | 2018-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN111727488B | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 佐藤龙树;戴维·霍伊尔 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术;日立高新技术加拿大有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/16 | 分类号： | H01J37/16;H01J1/13 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;范胜杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 带电粒子束装置(110)具备：镜筒(111)，其具备带电粒子源(112)；试样室(101)，其设置被照射带电粒子束的试样；热释放型电子源(102)，其配置在试样室(101)内，维持为比其内壁低的电位，其中，通过电子源电源(103)的电压施加产生加热电流而从热释放型电子源(102)释放的电子(e‑)，进行试样室(101)内的清洁。通过偏置电源(104)向热释放型电子源(102)施加负电压，维持为比试样室(101)的内壁低的电位。施加到热释放型电子源(102)的负电压的大小理想的是30～1000V，优选60～120V左右。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社日立高新技术;日立高新技术加拿大有限公司，未经株式会社日立高新技术;日立高新技术加拿大有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880088844.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：内燃发动机装置
- 下一篇：线性马达以及具有该线性马达的线性压缩机
