[发明专利]激光加工方法在审
| 申请号： | 201880087421.9 | 申请日： | 2018-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN111629857A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 工藤幸利 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/386 | 分类号： | B23K26/386;B23K26/00;B23K26/08;H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种激光加工方法，其消除现有的激光加工方法的问题点，即，如果向外周部分连续地照射脉冲激光，则向1个保形掩模的蓄热量变大从而选择性地将绝缘材料分解去除，因此容易产生玻璃布的凸出，进行要形成的孔数为多个的保形加工，该激光加工方法具有：向在构成与孔数相对应地设置的多个保形掩模(30a～30f)的第1掩模(30a)的内侧或外侧确定的区域照射激光(1)的第1加工工序、以及向与构成保形掩模(30a～30f)的第1掩模(30a)不同的掩模(30b～30f)的内侧或外侧照射激光(1)的与第1加工工序不同的加工工序，将实施从第1加工工序至不同的加工工序为止的加工顺序重复多次，并且在将加工顺序重复多次时，每次一边改变照射激光(1)的位置一边完成加工。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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