[发明专利]激光加工方法

权利要求书

1.一种激光加工方法，其进行要形成的孔数为多个的保形加工，

该激光加工方法的特征在于，

具有下述工序：

第1加工工序，向在构成与所述孔数相对应地设置的多个保形掩模的第1掩模的内侧或外侧确定的区域照射激光；以及

与所述第1加工工序不同的加工工序，向与构成所述保形掩模的所述第1掩模不同的掩模的内侧或外侧照射所述激光，

将实施从所述第1加工工序至所述不同的加工工序为止的加工顺序重复多次，并且在将所述加工顺序重复多次时，每次一边改变照射所述激光的位置一边完成加工。

2.根据权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，

向1个所述保形掩模照射所述激光的位置，预先确定了大于或等于4个。

3.根据权利要求2所述的激光加工方法，其特征在于，

在将所述加工顺序重复多次时，每次在向1个所述保形掩模照射所述激光时，使所述激光向最远离照射完成的位置的位置，且所述激光的未照射位置进行照射。

4.根据权利要求3所述的激光加工方法，其特征在于，

所述区域是以所述保形掩模的重心为基点而与所述保形掩模相似形状，向该相似形状的外周部照射所述激光。

5.根据权利要求4所述的激光加工方法，其特征在于，

照射所述激光的位置是将所述外周部的外周长等分为多个的位置。

6.根据权利要求3所述的激光加工方法，其特征在于，

所述区域在所述保形掩模的内侧或外侧确定有多个。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的激光加工方法，其特征在于，

所述激光为脉冲光。

8.根据权利要求7所述的激光加工方法，其特征在于，

所述脉冲光的数量为1个脉冲。