[发明专利]负载传感器及负载传感器一体式多轴执行器有效
| 申请号： | 201880084078.2 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111527386B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 李奎;江口功太郎 | 申请（专利权）人： | 美蓓亚三美株式会社 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00;G01L1/22;H05K13/04 |
| 代理公司： | 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418 | 代理人： | 郭红丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种负载传感器，其能够准确地检测施加在对象物上的按压力的负载。该负载传感器用于多轴执行器(10)，所述多轴执行器(10)具有：驱动杆(12)，其以收纳于外壳(11)的状态沿着轴线方向直线移动；及吸附杆(22)，其与驱动杆(12)平行地配置，并与驱动杆(12)同时沿着轴线方向直线移动，且当吸附芯片时，前端部(22a)被压在芯片上，负载传感器包括连结构件(30)，其用于连结驱动杆(12)与吸附杆(22)，连结构件(30)包括：第1连结部(31)，其用于连结驱动杆(12)；第2连结部(32)，其用于连结吸附杆(22)；及颈部(33)，其设置在第1连结部(31)与第2连结部(32)之间，且相对于第1连结部(31)及第2连结部(32)形成得较细，颈部(33)包括安装在其表面的应变仪(41)～(44)。 | ||
| 搜索关键词： | 负载 传感器 体式 执行 | ||
【主权项】：
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