[发明专利]包含碱溶性树脂和交联剂的负型剥离抗蚀剂组合物以及在衬底上制造金属膜图案的方法在审
| 申请号： | 201880083596.2 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111512228A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 片山朋英;矢野友嗣;久保雅彦 | 申请（专利权）人： | 默克专利有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人： | 刘卓然 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一个目的是提供一种可以形成精细的抗蚀剂图案并保持它们的抗蚀剂组合物。另一个目的是提供一种负型剥离抗蚀剂组合物，其可以减少由该组合物制成的抗蚀剂图案的缺陷。本发明的另一个目的是提供一种负型剥离抗蚀剂组合物，由该组合物制成的抗蚀剂图案的可去除性良好。[方案]本发明提供了包含碱溶性树脂和交联剂的负型剥离抗蚀剂组合物。并且本发明提供了一种在衬底上制造金属膜图案的方法。本发明提供一种用于制造器件的方法，其包括金属膜图案制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 碱溶性 树脂 交联剂 剥离 抗蚀剂 组合 以及 衬底 制造 金属膜 图案 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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