[发明专利]包含碱溶性树脂和交联剂的负型剥离抗蚀剂组合物以及在衬底上制造金属膜图案的方法

权利要求书

1.一种负型剥离抗蚀剂组合物，其包含(A)碱溶性树脂、(B)下式(1)表示的交联剂和(C)下式(2)表示的交联剂，其中

R₁是C_2-8烷氧基烷基，R₂是C_2-8烷氧基烷基，

R₃为未取代或取代有C_1-6烷基的C_6-10芳基，未取代或取代有C_1-6烷基的C_1-8烷基，或-NR₁R₂，

R₄为未取代或取代有C_1-6烷基的C_6-10芳基，未取代或取代有C_1-6烷基的C_1-8烷基，或-NR₁R₂，

R₅为未取代或取代有C_1-6烷基的C_1-20烷基，

l为1、2、3或4，m为0、1或2，n为0、1或2，且l+m+n≤6。

2.根据权利要求1的负型剥离抗蚀剂组合物，其中，该(A)碱溶性树脂包含下述式(3)表示的单元A和下述式(4)表示的单元B，

R₆为氢，C_1-6烷基，卤素或氰基，R₇为C_1-6烷基，羟基，卤素或氰基，p为0、1、2、3或4，q为1、2或3，p+q≤5

R₈为氢，C_1-6烷基，卤素或氰基，R₉为C_1-6烷基，卤素或氰基，并且r是0、1、2、3、4或5。

3.根据权利要求1或2的负型剥离抗蚀剂组合物，其中，该(A)碱溶性树脂的重均分子量(Mw)为2,000～100,000。

4.根据权利要求1至3中一项或多项的负型剥离抗蚀剂组合物，其中，该(A)碱溶性树脂相对于该负型剥离抗蚀剂组合物总质量的质量比为5～50质量％。

5.根据权利要求1至4中一项或多项的负型剥离抗蚀剂组合物，其中，该(B)交联剂相对于该(A)碱溶性树脂的质量的质量比为0.10～8质量％，并且

该(C)交联剂相对于该(A)碱溶性树脂的质量的质量比为0.50～40质量％。

6.根据权利要求1至5中一项或多项的负型剥离抗蚀剂组合物，其还包含溶剂，其中该溶剂从由脂族烃溶剂，芳族烃溶剂，一元醇溶剂，多元醇溶剂，酮溶剂，醚溶剂，酯溶剂，含氮溶剂，含硫溶剂，以及这些中的任何组合构成的群组中选出。

7.根据权利要求1至6中一项或多项的负型剥离抗蚀剂组合物，其还包含光酸产生剂，其中该光酸产生剂与(A)碱溶性树脂的质量的质量比为1～20质量％。

8.根据权利要求1至7中一项或多项的负型剥离抗蚀剂组合物，其包含光酸产生剂，其中该光酸产生剂包含从由磺酸衍生物，重氮甲烷化合物，鎓盐，砜亚胺化合物，二磺酸化合物，硝基苄基化合物，安息香甲苯磺酸酯化合物，芳烃铁络合化合物，含卤素的三嗪化合物，苯乙酮衍生物，和含氰基的肟磺酸盐构成的群组中选出的至少一种。

9.根据权利要求1至8中一项或多项的负型剥离抗蚀剂组合物，其还包含至少一种从由以下构成的群组中选出的添加剂：淬灭剂，表面活性剂，染料，对比度增强剂，酸，自由基产生剂，以及用于增强与衬底的粘附性的试剂。