[发明专利]感光性硅氧烷组合物以及使用了其的图案形成方法在审
| 申请号： | 201880083595.8 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111512230A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 吉田尚史;福家崇司;高桥惠;谷口克人;野中敏章 | 申请（专利权）人： | 默克专利有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/022;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人： | 刘卓然 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明提供一种感光性硅氧烷组合物，其可形成具有期望的锥度以及线宽的图案。[手段]一种感光性硅氧烷组合物，其包含聚硅氧烷、光活性剂、以及溶剂，所述聚硅氧烷具有由以下的式(ia’)表示的结构： |
||
| 搜索关键词： | 感光性 硅氧烷 组合 以及 使用 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于默克专利有限公司，未经默克专利有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880083595.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
