[发明专利]感光性硅氧烷组合物以及使用了其的图案形成方法

说明书

本发明提供一种感光性硅氧烷组合物，其可形成具有期望的锥度以及线宽的图案。[手段]一种感光性硅氧烷组合物，其包含聚硅氧烷、光活性剂、以及溶剂，所述聚硅氧烷具有由以下的式(ia’)表示的结构：式中，L为亚烷基或者亚苯基。

技术领域

本发明涉及感光性硅氧烷组合物。另外，本发明涉及使用了其的固化膜、以及使用了其的器件(device)。

背景技术

近年来，在显示器、发光二极管、太阳能电池等的光学器件中，为了更进一步提高光利用效率和/或节能而提出了各种提案。例如，在液晶显示器方面已知如下的方法：通过在TFT元件上包覆形成透明的平坦化膜，在该平坦化膜上形成像素电极，从而提高显示装置的开口率。

作为这样的TFT基板用平坦化膜的材料，已知通过将丙烯酸系树脂与醌二叠氮化合物进行组合而得到的材料。这些材料具备有平坦化特性与感光性，因而可制作接触孔和/或其它的图案。但是，随着分辨率和/或帧频提高而使得布线变得更复杂，因而平坦化要求变严格，在这些材料方面变得难以应对。

作为用于形成高耐热性、高透明性、高分辨率的固化膜的材料，已知聚硅氧烷。特别是倍半硅氧烷衍生物的低介电常数、高透射率、高耐热性、UV耐受性、以及涂布均匀性优异，因而被广泛地使用。倍半硅氧烷是如下的特异性的化合物：其是包含3官能度的硅氧烷结构单元RSi(O_1.5)的聚合物，并且在化学结构上是无机二氧化硅(SiO₂)与有机硅树脂(R₂SiO)之间的中间性存在，但是可溶于有机溶剂，并且由其获得了的固化物显现接近于无机二氧化硅的、特征性的高耐热性。在使用感光性组合物而形成图案的情况下，人们要求所形成的图案的壁具有对应于某一需求的锥度(taper angle)。即，例如在存在有具有圆形的开口的空穴的情况下，有时会优选为如下的图案：该空穴部分的形状不是圆柱，而是圆锥台或者倒圆锥台。在这样的情况下，例如在正型的情况下，大多是通过调整光酸产生剂等添加剂的含量从而调整其倾斜面的斜率，即锥度，但是在这样的方法中，存在有杂质的混入、电特性的劣化、成本的增大等问题，人们期望开发出可解决这些问题的方法。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开2015/060155号

发明内容

发明所要解决的课题

本发明想要提供一种感光性硅氧烷组合物，其可形成具有期望的锥度以及线宽的图案。

用于解决课题的手段

本发明的感光性硅氧烷组合物包含聚硅氧烷(Pa)、光活性剂、以及溶剂，

所述聚硅氧烷(Pa)包含由以下的式(ia)表示的重复单元，

式中，R表示氢，1～3价的C_1～30的直链状、支链状或者环状的饱和或者不饱和的脂肪族烃基，或者1～3价的C_6～30的芳香族烃基，

在前述脂肪族烃基以及前述芳香族烃基中，1个以上的亚甲基是非取代、或者被氧基、酰亚胺或者羰基取代了，1个以上的氢是非取代、或者被氟、羟基或者烷氧基取代了，且1个以上的碳是非取代、或者被硅取代了，

R为2价或3价的情况下，R将多个重复单元中所含的Si彼此进行连结，

前述重复单元的一部分或者全部形成了由以下的式(ia’)表示的结构：

式中，L是-(CR’₂)_n-或者下式：

此处，n是1～3的整数，