[发明专利]感光性硅氧烷组合物以及使用了其的图案形成方法

权利要求书

1.一种感光性硅氧烷组合物，其包含聚硅氧烷(Pa)、光活性剂、以及溶剂，

所述聚硅氧烷(Pa)包含由以下的式(ia)表示的重复单元，

式中，R表示氢，1～3价的C_1～30的直链状、支链状或者环状的饱和或者不饱和的脂肪族烃基，或者1～3价的C_6～30的芳香族烃基，

在所述脂肪族烃基以及所述芳香族烃基中，1个以上的亚甲基是非取代、或者被氧基、酰亚胺或者羰基取代了，1个以上的氢是非取代、或者被氟、羟基或者烷氧基取代了，且1个以上的碳是非取代、或者被硅取代了，

R为2价或3价的情况下，R将多个重复单元中所含的Si彼此进行连结，

所述重复单元的一部分或者全部形成了由以下的式(ia’)表示的结构，

式中，L是-(CR’₂)_n-或者下式：

此处，n是1～3的整数，R’分别独立地表示氢、甲基、或者乙基。

2.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述聚硅氧烷(Pa)进一步包含由以下的式(ib)表示的重复单元

3.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，所述聚硅氧烷(Pa)包含嵌段，该嵌段中，2个以上的由式(ia’)表示的结构直接彼此结合。

4.根据权利要求3所述的组合物，其中，在所述聚硅氧烷(Pa)中所含的由上述式(ia’)表示的结构的总数之中，所述嵌段中所含的由上述式(ia’)表示的结构的个数为10mol％以上。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的组合物，其进一步包含聚硅氧烷(Pb)，所述聚硅氧烷(Pb)包含由上述通式(ia)表示的重复单元，不包含由上述式(ia’)表示的结构。

6.根据权利要求5所述的组合物，其中，所述聚硅氧烷(Pb)进一步包含由上述式(ib)表示的重复单元。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的组合物，其中，所述聚硅氧烷(Pa)或者(Pb)的质均分子量为500～25,000。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的组合物，其中，相对于组合物中所含的聚硅氧烷整体中所含的重复单元的总数而言，由结构(ia’)表示的结构的总数的比例为0.5～50％。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的组合物，其中，相对于组合物中所含的聚硅氧烷(Pa)中所含的重复单元(ia)的总数而言，在聚合物中以(ia’)的一部分的形式存在的重复单元(ia)与、没有利用所述R而与别的重复单元(ia)进行连结的重复单元(ia)的总数的比例为60mol％以上。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的组合物，其中，

相对于组合物中所含的聚硅氧烷整体中所含的重复单元的总数而言，由下述式(ic)表示的结构的总数的比例为25mol％以下，

式中，Y表示2价或3价的直链状、支链状或者环状的饱和或者不饱和的脂肪族烃基，或者2价或3价的芳香族烃基，

在所述脂肪族烃基以及所述芳香族烃基中，1个以上的亚甲基是非取代、或者被氧基、酰亚胺或者羰基取代了，1个以上的氢是非取代、或者被氟、羟基或者烷氧基取代了，且1个以上的碳是非取代、或者被硅取代了，

z为2或3，

但是，Y不是-(CR’₂)_n-也不是下式：

此处，n是1～3的整数，R’分别独立地表示氢、甲基、或者乙基。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的组合物，其中，所述光活性剂的含有率相对于聚硅氧烷100质量份而言为20质量份以下。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的组合物，其为正型感光性组合物。