[发明专利]晶圆的检查方法及晶圆有效
| 申请号： | 201880075390.5 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN111480105B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 藏本有未;柴山胜己;笠原隆;广瀬真树;川合敏光;大山泰生 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;黄浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的晶圆具备：基板层；第1镜层，其具有二维配置的多个第1镜部；及第2镜层，其具有二维配置的多个第2镜部。在晶圆中，通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成有多个法布里‑帕罗干涉滤光器部。一实施方式的晶圆检查方法包含下述步骤：进行多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的是否为良品的判定；对判定为不良的法布里‑帕罗干涉滤光器部的第2镜层中自相对方向观察时与空隙重叠的部分的至少一部分涂布墨水。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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