[发明专利]晶圆的检查方法及晶圆

权利要求书

1.一种晶圆的检查方法，其特征在于，

包括如下步骤：

准备晶圆的步骤，该晶圆具备：具有互相相对的第1表面及第2表面的基板层；具有在所述第1表面二维配置的多个第1镜部的第1镜层；及具有于所述第1镜层上二维配置的多个第2镜部的第2镜层；且通过在互相相对的所述第1镜层的至少包含所述第1镜部的部分、及所述第2镜层的至少包含所述第2镜部的部分之间形成空隙，而构成有互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部间的距离通过静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部；

进行多个所述法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的是否为良品的判定的步骤；及

对进行所述是否为良品的判定的步骤中判定为不良的所述法布里-帕罗干涉滤光器部的所述第2镜层中、自所述第1镜部与所述第2镜部互相相对的方向观察时与所述空隙重叠的部分的至少一部分涂布墨水的步骤。

2.如权利要求1所述的晶圆的检查方法，其中，

在涂布有所述墨水的所述至少一部分，形成自所述第2镜层的第1镜层的相反侧的表面至所述空隙的贯通孔。

3.如权利要求1或2所述的晶圆的检查方法，其中，

在涂布所述墨水的步骤中，在进行所述是否为良品的判定的步骤中完成所有的所述法布里-帕罗干涉滤光器部的是否为良品的判定后，对判定为不良的一个以上的所述法布里-帕罗干涉滤光器部依序涂布墨水。

4.如权利要求1或2所述的晶圆的检查方法，其中，

在涂布所述墨水的步骤中，在进行所述是否为良品的判定的步骤中每当将1个所述法布里-帕罗干涉滤光器部判定为不良时，对该1个法布里-帕罗干涉滤光器部涂布墨水。

5.如权利要求1或2所述的晶圆的检查方法，其中，

所述墨水固化前的状态的粘度为500 cP～50000 cP。

6.如权利要求3所述的晶圆的检查方法，其中，

所述墨水固化前的状态的粘度为500 cP～50000 cP。

7.如权利要求4所述的晶圆的检查方法，其中，

所述墨水固化前的状态的粘度为500 cP～50000 cP。

8.一种晶圆，其特征在于，

具备：

基板层，其具有互相相对的第1表面及第2表面；

第1镜层，其具有在所述第1表面二维配置的多个第1镜部；及

第2镜层，其具有在所述第1镜层上二维配置的多个第2镜部，通过在互相相对的所述第1镜层的至少包含所述第1镜部的部分、与所述第2镜层的至少包含所述第2镜部的部分之间形成空隙，而构成有互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部间的距离通过静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部，

在所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部中至少1个不良品的所述法布里-帕罗干涉滤光器部的所述第2镜层中、自所述第1镜部与所述第2镜部互相相对的方向观察时与所述空隙重叠的部分的至少一部分涂布有墨水，在至少1个良品的所述法布里-帕罗干涉滤光器部未涂布所述墨水。

9.如权利要求8所述的晶圆，其中，

在形成于不良品的所述法布里-帕罗干涉滤光器部的所述空隙渗透有所述墨水。