[发明专利]晶圆的检查方法及晶圆

说明书

本发明的晶圆具备：基板层；第1镜层，其具有二维配置的多个第1镜部；及第2镜层，其具有二维配置的多个第2镜部。在晶圆中，通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成有多个法布里‑帕罗干涉滤光器部。一实施方式的晶圆检查方法包含下述步骤：进行多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的是否为良品的判定；对判定为不良的法布里‑帕罗干涉滤光器部的第2镜层中自相对方向观察时与空隙重叠的部分的至少一部分涂布墨水。

技术领域

本公开涉及一种用以获得法布里-帕罗干涉滤光器的晶圆、及该晶圆的检查方法。

背景技术

作为现有的法布里-帕罗干涉滤光器，已知有具备基板、及在基板上经由空隙互相相对的固定镜及可动镜的滤光器(例如参照专利文献1)。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本特表2013-506154号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

由于如上述的法布里-帕罗干涉滤光器为微细的构造体，故个别地处理并检查经单片化的法布里-帕罗干涉滤光器并不容易，提高检查效率较困难。另外，在多个法布里-帕罗干涉滤光器一体化的状态下(例如晶圆状态)，例如存在膜状的可动镜破损的法布里-帕罗干涉滤光器的情形时，可知自该法布里-帕罗干涉滤光器的破损部分产生微粒，有该微粒飞散于其他法布里-帕罗干涉滤光器上，而造成不良影响的担忧。

因此，本公开的目的在于提供一种谋求检查效率的提高且可抑制破损的法布里-帕罗干涉滤光器对其他法布里-帕罗干涉滤光器造成不良影响的晶圆的检查方法、及晶圆。

[解决问题的技术手段]

本公开的一方面的晶圆的检查方法包含如下步骤：准备晶圆，该晶圆具备：具有互相相对的第1表面及第2表面的基板层；具有在第1表面二维配置的多个第1镜部的第1镜层；及具有在第1镜层上二维配置的多个第2镜部的第2镜层；且通过在互相相对的第1镜层的至少包含第1镜部的部分、及第2镜层的至少包含第2镜部的部分之间形成空隙，而构成有互相相对的第1镜部与第2镜部间的距离通过静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部；进行多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的是否为良品的判定；及对进行是否为良品的判定的步骤中判定为不良的法布里-帕罗干涉滤光器部的第2镜层中、自第1镜部与第2镜部互相相对的方向观察时与空隙重叠的部分的至少一部分涂布墨水。

根据本公开的一方面的晶圆的检查方法，在分别成为法布里-帕罗干涉滤光器的预定的多个法布里-帕罗干涉滤光器部一体化的状态下(即晶圆状态)，进行各法布里-帕罗干涉滤光器部的检查(是否为良品的判定)。因此，与个别地检查通过切断晶圆而单片化的法布里-帕罗干涉滤光器的情形相比，可更有效地进行检查。另外，上述检查方法中，在判定为不良的法布里-帕罗干涉滤光器部中，对具有所谓膜构造的脆弱部分(即，第2镜层中，自第1镜部与第2镜部相对的方向观察时与空隙重叠的部分。以下简称为「膜部」)的至少一部分，涂布墨水。由此，假设膜部破损的情形时，可抑制破损部分的卷起、自该破损部分的微粒的产生等。另外，膜部未破损的情形时，也通过利用墨水强化该膜部，而可减低该膜部将来破损的可能性。根据以上，根据上述晶圆的检查方法，可谋求检查效率的提高，且抑制破损的法布里-帕罗干涉滤光器对其他法布里-帕罗干涉滤光器造成不良影响。

也可为，在涂布有墨水的上述至少一部分，形成自第2镜层的第1镜层的相反侧的表面至空隙的贯通孔。由此，可使墨水经由该贯通孔，自第2镜层的表面渗透至内部。其结果，第2镜层通过墨水而强化，可有效抑制该第2镜层的破损部分的卷起、自该破损部分的微粒的产生等。另外，即使未在判定为不良的法布里-帕罗干涉滤光器部的膜部产生破损的情形时，也可通过渗透至空隙的墨水，有效减低该膜部将来破损的可能性。