[发明专利]衬底保持器和制造器件的方法有效
| 申请号： | 201880072539.4 | 申请日： | 2018-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN111373327B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | T·波耶兹;S·阿成达;J·布坎贝格蒂;A·A·索图特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了衬底保持器、制造这种衬底保持器的方法和包括这种衬底保持器的光刻设备。在一种布置中，提供有一种用于在光刻设备中使用的衬底保持器。所述衬底保持器被配置成支撑衬底的下表面。所述衬底保持器(WT)包括主体(40)、多个突节和涂层(23)。主体具有面向衬底的面(41)。多个突节从面向衬底的面突出。每个突节具有被配置成与衬底接合的远端。所述远端被配置用于支撑所述衬底。所述涂层在面向衬底的面上、位于突节之间。在突节之间，面向衬底的面包括多个区域(42，43)的布置。相邻区域通过在支撑平面下方的距离的台阶式变化而被分开。每个台阶式变化大于涂层的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 保持 制造 器件 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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