[发明专利]阀装置、调整信息生成方法、流量调整方法、流体控制装置、流量控制方法、半导体制造装置和半导体制造方法

摘要

本发明提供一种不使用外部传感器或者使用尽可能少量的外部传感器，就能够精密地调整由经时、经年等引起的流量变动的阀装置。该阀装置具有：调整用驱动器(100)，其用于调整定位于开位置的操作构件的位置；通信部(210)，其从装置外部接收与由阀芯引起的流路的开度调整相关的调整信息；以及控制部(220)，其基于该调整信息驱动调整用驱动器(100)而调整操作构件的位置。