[发明专利]谐振器以及谐振装置

摘要

在谐振器中，能够高精度地调整频率温度特性。谐振器具备：振动部；保持部，被设置成包围振动部的至少一部分；以及保持臂，连接振动部和保持部，该振动部具有：第一电极和第二电极；压电膜，形成于第一电极与第二电极之间，并具有与第一电极对置的第一面；以及至少2个温度特性调整膜，隔着第一电极与压电膜的第一面对置地形成，振动部具有与压电膜的第一面对置的表面，该表面包括第一区域以及在振动部振动时平均位移比第一区域大的第二区域，至少2个温度特性调整膜包括在第一区域中的分别不同的区域露出的、频率温度系数为正的第一温度特性调整膜以及频率温度系数为负的第二温度特性调整膜。