[发明专利]谐振器以及谐振装置

权利要求书

1.一种谐振器，具备：

振动部；

保持部，被设置成包围上述振动部的至少一部分；以及

保持臂，连接上述振动部和上述保持部，

上述振动部具有：

第一电极和第二电极；

压电膜，形成于上述第一电极与上述第二电极之间，并且具有与上述第一电极对置的第一面；以及

温度特性调整膜，隔着上述第一电极与上述压电膜的上述第一面对置地形成，

上述振动部具有与上述压电膜的上述第一面对置的表面，该表面包括第一区域以及第二区域，在上述振动部振动时，上述第二区域的平均位移比上述第一区域的平均位移大，

上述振动部具有至少一个频率调整膜，上述至少一个频率调整膜的表面在上述第二区域露出，上述至少一个频率调整膜形成在上述温度特性调整膜上，

上述温度特性调整膜包括频率温度系数为正的第一温度特性调整膜以及频率温度系数为负的第二温度特性调整膜，上述第一温度特性调整膜和上述第二温度特性调整膜分别在上述第一区域中的不同的区域露出。

2.根据权利要求1所述的谐振器，其中，

与上述第一温度特性调整膜以及上述第二温度特性调整膜的比重相比，上述频率调整膜的比重大。

3.根据权利要求1或2所述的谐振器，其中，

上述第一温度特性调整膜具有正的弹性模量温度系数。

4.根据权利要求1或2所述的谐振器，其中，

上述振动部的上述压电膜根据施加至该压电膜的电压而进行轮廓振动，

上述振动部具有至少一个矩形的振动区域，上述振动区域具有与上述压电膜的轮廓振动的节平行的长边、以及与上述压电膜的轮廓振动的节正交且与轮廓振动的半波长相当的短边，

上述第二区域至少包括上述振动区域的角部的区域的一部分。

5.根据权利要求4所述的谐振器，其中，

上述第一区域包括在上述振动区域中至少形成上述轮廓振动的节的区域的一部分。

6.根据权利要求1或2所述的谐振器，其中，

上述振动部具有振动臂以及基部，上述振动臂具有固定端和开放端，并且进行弯曲振动，上述基部具有与上述振动臂的固定端连接的前端以及与该前端对置的后端，

上述第二区域至少包括上述振动臂中的开放端侧的前端的区域的一部分。

7.根据权利要求6所述的谐振器，其中，

上述第一区域包括上述振动臂中的至少连接上述振动臂和上述基部的区域的一部分。

8.根据权利要求6所述的谐振器，其中，

上述振动部的振动模式为面外弯曲振动。

9.根据权利要求6所述的谐振器，其中，

上述振动部的振动模式为面内弯曲振动。

10.一种谐振装置，具备：

权利要求1～9中任一项所述的谐振器；

盖体，覆盖上述谐振器；以及

外部电极。