[发明专利]保持垫及其制造方法有效
| 申请号： | 201880057479.9 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN111051002B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 广田幸史;前田敏秀;久米贵宏 | 申请（专利权）人： | 富士纺控股株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
保持垫，其为具备树脂片材的保持垫，所述树脂片材具有用于保持被研磨物的保持面，其中，下述式(1)表示的、乙醇向上述保持面的渗透速度为1.0～2.0度/秒。渗透速度＝(C |
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| 搜索关键词： | 保持 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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