[发明专利]保持垫及其制造方法

权利要求书

1.保持垫，其为具备树脂片材的保持垫，所述树脂片材具有用于保持被研磨物的保持面，

在所述保持面形成的微细孔的微细孔面积在每1cm²保持面中为5.0×10⁴～5.0×10⁶μm²，

下述式(1)表示的、乙醇向所述保持面的渗透速度为1.0～2.0度/秒，

渗透速度＝(C₀-C₂₀)/20···(1)

C₀：刚向所述保持面滴加乙醇后的、所述乙醇与所述保持面的接触角，

C₂₀：从滴加所述乙醇起20秒后的、所述乙醇与所述保持面的所述接触角。

2.如权利要求1所述的保持垫，其中，向所述保持面滴加水，刚滴加所述水后的、所述水与所述保持面的接触角W₀为100～150度。

3.如权利要求1或2所述的保持垫，其中，在所述保持面形成的微细孔的平均微细孔径为0.1～5.0μm。

4.如权利要求1或2所述的保持垫，其中，非发泡树脂片材的断裂强度为30MPa以上，所述非发泡树脂片材是用N,N-二甲基甲酰胺将所述树脂片材溶解、并使所得溶液干燥而得到的。

5.如权利要求1或2所述的保持垫，其中，构成所述树脂片材的树脂的100％模量为3.0～10MPa。

6.如权利要求1或2所述的保持垫，其中，所述树脂片材含有聚氨酯系树脂。

7.如权利要求1或2所述的保持垫，其中，所述树脂片材是对聚氨酯树脂片材进行拉伸而得到的。

8.如权利要求1或2所述的保持垫，其中，所述树脂片材含有防水剂。

9.如权利要求8所述的保持垫，其中，所述防水剂包含具有碳原子数为6～8的全氟烷基的氟系防水剂。

10.如权利要求8所述的保持垫，其中，相对于所述树脂片材的总量而言，所述防水剂的含量为0.5～5.0质量％。

11.如权利要求9所述的保持垫，其中，相对于所述树脂片材的总量而言，所述防水剂的含量为0.5～5.0质量％。

12.权利要求1～11中任一项所述的保持垫的制造方法，其具有下述工序：

溶液制备工序，将树脂混合溶解于溶剂中而制备树脂溶液；

涂膜形成工序，形成所述树脂溶液的涂膜；

浸渍工序，将所述涂膜浸渍于作为所述树脂的不良溶剂的凝固液而制作树脂片材；和

孔形成工序，对所述树脂片材进行拉伸而在所述树脂片材的表面形成微细孔。

13.如权利要求12所述的保持垫的制造方法，其中，所述树脂包含聚氨酯系树脂。