[发明专利]电子束检查设备的台架定位有效
| 申请号： | 201880057197.9 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN111052296B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | M·K·M·巴格根;A·H·阿伦茨;L·库因德尔斯玛;J·H·A·范德里杰特;P·P·亨佩尼尤斯;R·J·T·范肯彭;N·J·M·博世;H·M·J·范德格罗伊斯;曾国峰;H·巴特勒;M·J·C·龙德 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 李兴斌 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种电子束设备包括：用于生成电子束的电子光学系统；用于将样本保持在目标位置，使得样本的目标部分被电子束照射的载物台；以及用于将载物台相对于电子束移位的定位装置。定位装置包括台架致动器和平衡质量体。台架致动器将力施加到载物台上来使得载物台加速。施加到载物台上的力导致施加到平衡质量体上的反作用力。平衡质量体响应于反作用力而移动。定位装置使得平衡质量体能够响应于反作用力在第一方向上的分量而在第一方向上移动。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 检查 设备 台架 定位 | ||
【主权项】：
暂无信息
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