[发明专利]电子束检查设备的台架定位

权利要求书

1.一种电子束设备，所述设备包括：

电子光学系统，被配置为生成电子束；

载物台，被配置为将样本保持在目标位置处，使得所述样本的目标部分被所述电子束照射；以及

定位装置，被配置为在第一方向和第二方向上将所述载物台相对于所述电子束移位，所述定位装置包括台架致动器和平衡质量体，所述台架致动器被配置为将力施加到所述载物台上来使得所述载物台加速，施加到所述载物台上的力导致施加到所述平衡质量体上的反作用力，所述平衡质量体被配置为响应于所述反作用力而移动，

其中所述定位装置被配置为使得所述平衡质量体能够响应于所述反作用力在所述第一方向上的分量而在所述第一方向上移动；以及

其中所述平衡质量体的重心和所述载物台的重心在由所述第一方向和所述第二方向限定的平面上共面。

2.根据权利要求1所述的电子束设备，其中所述定位装置包括另一平衡质量体，所述另一平衡质量体被配置为响应于所述反作用力在所述第二方向上的分量而在所述第二方向上移动。

3.根据权利要求2所述的电子束设备，其中第三方向与所述第一方向和所述第二方向正交，并且所述定位装置被配置为使得所述平衡质量体能够在所述第一方向和所述第二方向上移动并且能够绕所述第三方向旋转。

4.根据权利要求1所述的电子束设备，其中所述定位装置包括所述平衡质量体的被动安装件，所述被动安装件响应于所述反作用力提供所述平衡质量体的移动的被动阻尼。

5.根据权利要求4所述的电子束设备，其中所述被动安装件提供渐进式被动阻尼。

6.根据权利要求5所述的电子束设备，其中所述被动安装件包括渐进式弹簧。

7.根据任一前述权利要求所述的电子束设备，其中所述定位装置包括所述平衡质量体的主动安装件，所述主动安装件响应于反作用力提供所述平衡质量体的移动的主动阻尼。

8.根据权利要求7所述的电子束设备，其中所述主动安装件提供渐进式主动阻尼。

9.根据权利要求8所述的电子束设备，其中所述主动安装件包括增益调度控制器。

10.根据权利要求7所述的电子束设备，还包括被动安装件，所述被动安装件包括弹簧和/或阻尼器，其中所述主动安装件还被配置为至少部分地补偿由所述弹簧和/或所述阻尼器响应于所述平衡质量体的移动而引起的另一力。

11.根据权利要求7所述的电子束设备，所述主动安装件还包括电磁致动器，其中至少部分地基于载物台设定点、所述载物台位置的测量值、平衡质量体设定点和/或平衡质量体的测量值，校准所述电磁致动器的电机常数和/或补偿至少部分地由于电机常数而导致的所述电磁致动器的控制误差。

12.根据权利要求1-6中任一项所述的电子束设备，还包括：

真空容器，被配置为限制所述电子束设备的真空，所述载物台和所述定位装置布置在所述真空容器中；

基架，被布置为支撑所述真空容器；以及

支撑元件；

其中所述基架经由所述支撑元件来支撑所述定位装置，所述支撑元件延伸穿过所述真空容器的壁。

13.根据权利要求12所述的电子束设备，还包括振动隔离系统，其中所述基架经由所述振动隔离系统来支撑所述真空容器。

14.根据权利要求1-6中任一项所述的电子束设备，还包括运动补偿系统，所述运动补偿系统连接到固定结构并且耦合在所述固定结构和所述载物台之间，以至少部分地补偿由所述载物台的加速引起的又一力。

15.根据权利要求1-6中任一项所述的电子束设备，其中所述电子束设备是电子束检查设备、扫描电子显微镜、电子束写入器、电子束量测设备、电子束光刻设备或电子束缺陷验证设备。