[发明专利]标记单元在审
申请号: | 201880046194.5 | 申请日: | 2018-07-30 |
公开(公告)号: | CN110869697A | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
发明(设计)人: | 斉藤共啓;福田康幸 | 申请(专利权)人: | 恩普乐股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01B11/26 |
代理公司: | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人: | 侯婧;钟守期 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种标记单元,其例如对于同一被设置体物,在同一条件下能够更容易地设置。本发明的标记单元的特征在于,其包含上基板和下基板,为在所述下基板上层叠所述上基板的层叠体,所述下基板其上表面具有从所述层叠体的上表面侧露出的下基板被检测部,其下表面具有2个以上的位置确定部,所述被检测部可以从所述层叠体的上表面侧检测,所述各位置确定部可以从所述层叠体的侧面方向检视,不可以从所述层叠体的上表面方向检视,在所述下基板中,所述各位置确定部在所述层叠体设置在被设置体上时,通过从所述侧面方向的检视,配置在与所述被设置体的标记单元的定位记号相重叠的位置。 | ||
搜索关键词: | 标记 单元 | ||
【主权项】:
暂无信息
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