[发明专利]标记单元

权利要求书

1.一种标记单元，其特征在于

其包含上基板和下基板，

是在所述下基板上层叠了所述上基板而成的层叠体，

所述下基板，

其上表面，具有露出于所述层叠体的上表面侧的下基板被检测部，

其下表面，具有2个以上的位置确定部，

所述下基板被检测部，

可以从所述层叠体的上表面侧检测，

所述各位置确定部，

可以从所述层叠体的侧面方向检视，

不可以从所述层叠体的上表面方向检视。

2.根据权利要求1所述的标记单元，其中

所述下基板被检测部包含标记和成为检测所述标记的基准的检测基准部中的至少一个。

3.根据权利要求1或2所述的标记单元，其中

进一步地，

所述上基板具有可以从所述层叠体的上表面侧检测的上基板被检测部，

所述上基板被检测部是标记。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的标记单元，其中

所述下基板具有向下侧方向突出的凸部，

所述凸部是所述位置确定部。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的标记单元，其中

所述下基板在其侧面具有缺失部，

所述缺失部是所述位置确定部。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的标记单元，其中

所述下基板的位置确定部包含位置关系为不相对的至少2个位置确定部。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的标记单元，其中

所述下基板的位置确定部为3个以上。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的标记单元，其中

在所述下基板中，在将所述层叠体设置在被设置体上时，通过从所述侧面方向进行检视，而将所述各位置确定部配置在与所述被设置体的标记单元的定位记号相对应的位置，

所述被设置体的标记单元的定位记号是相互交差的2条线的记号。

9.根据权利要求8所述的标记单元，其中

所述相互交差的2条线是由相互正交的2条线构成的十字。

10.根据权利要求8或9所述的标记单元，其中

在假定相互交差的2条线以所述层叠体的中心轴为交点时，

所述下基板在其边缘区域和所述2条线交叉的4个地方中，至少有2个地方具有所述位置确定部。

11.根据权利要求2至10中任一项所述的标记单元，其中

所述上基板

具有贯通孔，

所述下基板

在其上表面，与所述上基板的贯通孔相对应的地方，是所述检测基准部。

12.根据权利要求11所述的标记单元，其中

所述下基板，

在其上表面，与所述上基板的贯通孔相对应的地方具有凸部，所述凸部的上表面是所述检测基准部。