[发明专利]等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201880042477.2 | 申请日： | 2018-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN110800378B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 关谷一成;田名部正治;井上忠;笹本浩;佐藤辰宪;土屋信昭 | 申请（专利权）人： | 佳能安内华股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;B01J19/08;C23C14/34;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 等离子体处理装置包括：具有第一输入端子、第二输入端子、第一输出端子和第二输出端子的巴伦；真空容器；与真空容器绝缘并且被电连接至第一输出端子的第一电极；以及与真空容器绝缘并且被电连接至第二输出端子的第二电极。第二电极被布置为围绕第一电极的整个周边。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：/n巴伦，包括第一输入端子、第二输入端子、第一输出端子和第二输出端子；/n真空容器；/n第一电极，与所述真空容器绝缘并且被电连接至所述第一输出端子；以及/n第二电极，与所述真空容器绝缘并且被电连接至所述第二输出端子，/n其中所述第二电极被布置为围绕所述第一电极的整个周边。/n
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