[发明专利]有源矩阵基板及其制造方法

摘要

一种具有像素区域的有源矩阵基板，具备：端子部(P2)；保护环(P4)；以及连接部(P3)，其连接端子部(P2)和保护环(P4)。像素区域、端子部(P2)以及保护环(P4)具有：第1金属膜(231)；第1导电层(13s)，其层叠有电阻比第1金属膜(231)的电阻低的第2金属膜(232、233)；第1保护层(103)，其配置成与第1导电层(13s)的至少一部分重叠；以及第2保护层(105)，其配置于第1保护层(103)之上。像素区域具有设置于第1保护层的上层的第2导电层。连接部(P2)具有第1金属膜(231)和配置于第1金属膜(231)之上的第2保护层(105)。端子部(P2)和保护环(P4)中的第1导电层(13s)的连接部侧的端部配置于比第1保护层(103)的连接部侧的端部靠内侧的位置。第2导电层(141)和第2金属膜(232、233)包含能用相同的蚀刻液进行蚀刻的材料。

主权项

1.一种有源矩阵基板，是具有像素区域的有源矩阵基板，上述有源矩阵基板的特征在于，具备：/n端子部，其与上述像素区域连接；/n保护环，其设置于上述端子部的周围；以及/n连接部，其将上述端子部与上述保护环之间连接，/n上述像素区域、上述端子部以及上述保护环各自具有：/n第1导电层，其至少层叠有第1金属膜和电阻比上述第1金属膜的电阻低的第2金属膜；/n第1保护层，其配置成与上述第1导电层的至少一部分重叠；以及/n第2保护层，其配置于上述第1保护层之上，/n上述像素区域还具有设置于上述第1保护层的上层的第2导电层，/n上述连接部具有：/n上述第1金属膜；以及/n上述第2保护层，其配置于上述第1金属膜之上，/n上述端子部和上述保护环中的上述第1导电层的上述连接部侧的端部配置于比上述第1保护层的上述连接部侧的端部靠内侧的位置，/n上述第2导电层和上述第2金属膜包含能用相同的蚀刻液进行蚀刻的材料。/n