[发明专利]基板边缘测试装置、系统和方法有效
| 申请号： | 201880039728.1 | 申请日： | 2018-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN110741244B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 黄成赞;郑址和;金泰皓;宋素瑛 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G06T7/30 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈洁;何焜 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于测试基板的边缘部的装置，包括：第一照明源，被配置为将光照射到基板的边缘部的端部；第二照明源，被配置为将光照射到边缘部的下部；第三照明源，被配置为将光照射到边缘部的上部；以及第一、第二和第三拍摄部分，分别对应于第一、第二和第三照明源，其中第一照明源包括C形横截面并包括面对边缘部的端部的第一弯曲表面，第二照明源包括半C形横截面并且包括面对边缘部的下部的第二弯曲表面，且第三照明源包括半C形横截面并且包括面对边缘部的上部的第三弯曲表面。 | ||
| 搜索关键词： | 边缘 测试 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于测试基板的边缘部的装置，所述装置包括：/n第一照明源，被配置为将光照射到所述基板的所述边缘部的端部；/n第二照明源，被配置为将光照射到所述边缘部的下部；/n第三照明源，被配置为将光照射到所述边缘部的上部；以及/n第一拍摄部分、第二拍摄部分和第三拍摄部分，分别对应于所述第一照明源、所述第二照明源和所述第三照明源，/n其中所述第一照明源包括C形横截面并包括面对所述边缘部的所述端部的第一弯曲表面，所述第二照明源包括半C形横截面并且包括面对所述边缘部的所述下部的第二弯曲表面，且所述第三照明源包括半C形横截面并且包括面对所述边缘部的所述上部的第三弯曲表面。/n
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