[发明专利]基板边缘测试装置、系统和方法

说明书

一种用于测试基板的边缘部的装置，包括：第一照明源，被配置为将光照射到基板的边缘部的端部；第二照明源，被配置为将光照射到边缘部的下部；第三照明源，被配置为将光照射到边缘部的上部；以及第一、第二和第三拍摄部分，分别对应于第一、第二和第三照明源，其中第一照明源包括C形横截面并包括面对边缘部的端部的第一弯曲表面，第二照明源包括半C形横截面并且包括面对边缘部的下部的第二弯曲表面，且第三照明源包括半C形横截面并且包括面对边缘部的上部的第三弯曲表面。

本申请根据35U.S.C.§119要求于2017年4月18日提交的韩国专利申请序列No.10-2017-0050020的优先权权益，本申请基于该韩国专利申请的内容并且该韩国专利申请的内容通过引用整体结合于此。

技术领域

本公开涉及基板边缘测试装置、系统和方法，并且更具体地，涉及用于测试基板中在基板的边缘部中存在的缺陷的基板边缘测试装置、系统和方法。

背景技术

通过成形过程来制造在诸如薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)、等离子显示面板(PDP)、电致发光(EL)显示器等平板显示器中使用的玻璃基板。在成形过程期间，在玻璃熔化炉中熔化的玻璃被成形成平板，在切割过程中根据预定标准切割玻璃，然后将切割的玻璃移至处理站进行进一步处理。在处理站，可以根据平板显示器的标准切割玻璃基板，并且可以执行用于对玻璃基板的四个边缘进行倒角的倒角过程。另外，在倒角过程之后，可以执行测试以检查在通过倒角过程进行倒角的边缘中是否已经出现诸如切屑或裂纹之类的缺陷。

发明内容

本公开的一个或多个实施例提供一种用于测试基板的边缘部的装置，该装置包括：第一照明源，被配置为将光照射到基板的边缘部的端部；第二照明源，被配置为将光照射到边缘部的下部；第三照明源，被配置为将光照射到边缘部的上部；以及第一、第二和第三拍摄部分，分别对应于第一、第二和第三照明源，其中第一照明源包括C形横截面并包括面对边缘部的端部的第一弯曲表面，第二照明源包括半C形横截面并且包括面对边缘部的下部的第二弯曲表面，且第三照明源包括半C形横截面并且包括面对边缘部的上部的第三弯曲表面。

本公开的一个或多个实施例提供一种用于测试基板的边缘部的系统，该系统包括：第一拍摄部分，被配置为通过拍摄基板的边缘部的端部生成第一图像；第二拍摄部分，被配置为通过拍摄边缘部的下部生成第二图像；第三拍摄部分，被配置为通过拍摄边缘部的上部生成第三图像；第一、第二和第三照明源，顺序地分别对应于第一、第二和第三拍摄部分，并且被配置为提供具有均匀照度的光；以及测试数据分析单元，被配置为收集第一、第二和第三图像，其中第二照明源为半C形并且包括面对边缘部的下部的第二弯曲表面，且第三照明源为半C形并且包括面对边缘部的上部的第三弯曲表面。

本公开的一个或多个实施例提供了一种基板边缘测试方法，包括：通过将具有均匀照度的光照射到基板的边缘部的端部并通过使用第一拍摄部分拍摄端部来生成第一图像，其中基板的边缘部被倒角；通过将具有均匀照度的光照射到边缘部的下部并通过使用第二拍摄部分拍摄下部来生成第二图像；通过将具有均匀照度的光照射到边缘部的上部并通过使用第三拍摄部分拍摄上部来生成第三图像；基于第一、第二和第三图像评估基板的边缘部的质量，其中基于第一、第二和第三图像评估基板中的边缘部的质量包括：对包括在一组第一参考线内的至少一个缺陷面积的第一面积进行求和，其中第一参考线是第一图像上的预定参考线；对包括在一组第二参考线内的至少一个缺陷面积的第二面积进行求和，其中第二参考线是第二图像上的预定参考线；对包括在一组第三参考线内的至少一个碎裂缺陷面积的第三面积进行求和，其中第三参考线是所述第三图像上的预定参考线；以及将第一面积、第二面积和第三面积的和除以边缘部的面积。

将在以下详细描述中阐述本文公开的实施例的附加特征和优点，这些特征和优点的一部分对本领域内的技术人员来说从说明书中是显而易见的，或通过实践如本文公开的实施例而得知，包括以下详细描述、权利要求书以及附图。