[发明专利]基板边缘测试装置、系统和方法

权利要求书

1.一种用于测试基板的边缘部的装置，所述装置包括：

第一照明源，被配置为将光照射到所述基板的所述边缘部的端部；

第二照明源，被配置为将光照射到所述边缘部的下部；

第三照明源，被配置为将光照射到所述边缘部的上部；以及

第一拍摄部分、第二拍摄部分和第三拍摄部分，分别对应于所述第一照明源、所述第二照明源和所述第三照明源，

其中所述第一照明源包括C形横截面并包括面对所述边缘部的所述端部的第一弯曲表面，所述第二照明源包括半C形横截面并且包括面对所述边缘部的所述下部的第二弯曲表面，使得从所述第二照明源照射的光到达所述边缘部的下部但是没有到达所述边缘部的上部，且所述第三照明源包括半C形横截面并且包括面对所述边缘部的所述上部的第三弯曲表面，使得从所述第三照明源照射的光到达所述边缘部的上部但是没有到达所述边缘部的下部，

其中，所述第一照明源、所述第二照明源和所述第三照明源彼此间隔开，沿着一个方向布置，并被配置为在所述一个方向上行进。

2.如权利要求1所述的装置，进一步包括：

对应于所述第一拍摄部分的第一反射部分和对应于所述第二拍摄部分的第二反射部分。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一拍摄部分、所述第二拍摄部分和所述第三拍摄部分彼此间隔开，沿着一个方向布置，并被配置为在所述一个方向上行进。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第二弯曲表面的轮廓和所述第三弯曲表面的轮廓中的每一个包括圆形、椭圆形、抛物线或双曲线中的至少一个的一部分。

5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第二照明源和所述第三照明源相对于所述基板彼此对称。

6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一照明源包括沿着所述第一弯曲表面布置的多个光源。

7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述多个光源被布置成使得沿着所述第一弯曲表面的所述多个光源的每一对中的相邻光源之间的距离基本上相同。

8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第二照明源和所述第三照明源分别包括沿着所述第二弯曲表面和所述第三弯曲表面布置的多个光源。

9.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述多个光源被布置成使得沿着所述第二弯曲表面和所述第三弯曲表面的所述多个光源之间的距离基本上相同。

10.一种用于测试基板的边缘部的系统，所述系统包括：

第一拍摄部分，被配置为通过拍摄所述基板的所述边缘部的端部生成第一图像；

第二拍摄部分，被配置为通过拍摄所述边缘部的下部生成第二图像；

第三拍摄部分，被配置为通过拍摄所述边缘部的上部生成第三图像；

第一照明源、第二照明源和第三照明源，顺序地分别对应于所述第一拍摄部分、所述第二拍摄部分和所述第三拍摄部分，并且被配置为提供具有均匀照度的光；以及

测试数据分析单元，被配置为收集所述第一图像、所述第二图像和所述第三图像，

其中所述第二照明源为半C形并且包括面对所述边缘部的所述下部的第二弯曲表面，使得从所述第二照明源照射的光到达所述边缘部的下部但是没有到达所述边缘部的上部，且所述第三照明源为半C形并且包括面对所述边缘部的所述上部的第三弯曲表面，使得从所述第三照明源照射的光到达所述边缘部的上部但是没有到达所述边缘部的下部，

其中，所述第一照明源、所述第二照明源和所述第三照明源彼此间隔开，沿着一个方向布置，并被配置为在所述一个方向上行进。

11.如权利要求10所述的系统，其特征在于，所述第一拍摄部分、所述第二拍摄部分和所述第三拍摄部分基本上彼此平行。