[发明专利]金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法在审
| 申请号： | 201880037348.4 | 申请日： | 2018-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN110709381A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 樱井淳;畑濑雅子;冈田奈奈;西田章浩 | 申请（专利权）人： | 株式会社ADEKA |
| 主分类号： | C07C251/08 | 分类号： | C07C251/08;C07F5/00;C23C16/18;C23C16/30;H01L21/285 |
| 代理公司： | 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 吴宗颐 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供由下述通式(1)表示的金属醇盐化合物:(式中，R | ||
| 搜索关键词： | 烷基 碳数 金属醇盐化合物 钆原子 钇原子 钕原子 铈原子 镧原子 式中 | ||
【主权项】：
1.下述通式(1)表示的金属醇盐化合物：/n
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