[发明专利]金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法

权利要求书

1.下述通式(1)表示的金属醇盐化合物：

式中，R¹和R²各自独立地表示碳数1～4的烷基，R³表示碳数2或3的烷基，M表示钪原子、钇原子、镧原子、铈原子、镨原子、钕原子、钷原子、钐原子、铕原子、钆原子、铽原子、镝原子、钬原子、铒原子、铥原子、镱原子或镥原子，n表示M表示的原子的价数。

2.薄膜形成用原料，其含有权利要求1所述的金属醇盐化合物。

3.薄膜的制造方法，其中，该薄膜在基体的表面含有选自钪原子、钇原子、镧原子、铈原子、镨原子、钕原子、钷原子、钐原子、铕原子、钆原子、铽原子、镝原子、钬原子、铒原子、铥原子、镱原子和镥原子中的至少1种原子，

该方法包括以下工序：将使权利要求2所述的含有金属醇盐化合物的薄膜形成用原料气化而得到的含有金属醇盐化合物的蒸气引入处理气氛中，使金属醇盐化合物分解和/或发生化学反应，以使其沉积在上述基体的表面。