[发明专利]具有封装的移动电极的麦克风有效
| 申请号： | 201880037195.3 | 申请日： | 2018-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN110679159B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | J.赖因姆特;V.拉贾拉曼;D.迈泽尔;B.格尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 邹松青;王丽辉 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种具有封装的可移动电极的MEMS麦克风系统。MEMS麦克风系统包括MEMS传感器，所述MEMS传感器具有通达通道、插塞以及第一构件和第二构件。配置成接收插塞的通达通道形成在第一构件和第二构件中的至少一者上。在第一构件和第二构件之间形成具有与MEMS传感器外部的压力不同的压力的真空。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 封装 移动 电极 麦克风 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统（MEMS）麦克风系统，其包括：/n具有空腔的封装壳体；以及/nMEMS传感器，其设置在所述封装壳体的空腔内，所述MEMS传感器包括：/n衬底；/n布置在所述衬底上方的第一构件和第二构件，所述第二构件与所述第一构件间隔开；/n插塞；以及/n形成在所述第一构件或所述第二构件中的至少一者上的通达通道，所述通达通道被配置成接收所述插塞。/n
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