[发明专利]具有封装的移动电极的麦克风

说明书

提供一种具有封装的可移动电极的MEMS麦克风系统。MEMS麦克风系统包括MEMS传感器，所述MEMS传感器具有通达通道、插塞以及第一构件和第二构件。配置成接收插塞的通达通道形成在第一构件和第二构件中的至少一者上。在第一构件和第二构件之间形成具有与MEMS传感器外部的压力不同的压力的真空。

技术领域

本公开总体地涉及微机电系统（MEMS）声换能器，并且更具体地涉及具有封装的移动电极的麦克风。

背景技术

除非本文另有说明，否则本部分中所描述的材料不是本申请中的权利要求的现有技术，并且不会因为被包括在本部分中而被承认是现有技术。

发明内容

下文阐述了本文所公开的某些实施例的概要。应当理解的是，这些方面被呈现以仅用于向读者提供这些特定实施例的简要概要，并且这些方面不旨在限制本公开的范围。实际上，本公开可以涵盖可能未在下文阐述的各种方面。

提供一种微机电系统（MEMS）麦克风系统，其包括具有空腔的封装壳体。MEMS麦克风系统还包括设置在封装壳体的空腔内的MEMS传感器。MEMS传感器包括：衬底；布置在衬底上方的第一构件和第二构件，所述第二构件与第一构件间隔开；插塞；以及形成在第一构件或第二构件中的至少一者上的通达通达通道，通达通道被配置为接收插塞。在第一构件和第二构件之间形成真空，该真空具有不同于空腔的压力。在第一构件和第二构件之间形成组件，所述组件包括多个连接件和多个柱。该组件还包括被配置成加强第一构件和第二构件的耦合件，该耦合件位于第一构件和第二构件的中心部分上。MEMS传感器还包括具有可移动电极和固定电极的电极组件，其中形成在第一构件和第二构件之间的可移动电极机械地耦合到第一构件或第二构件中的至少一者。可移动电极与固定电极重叠。电极组件还包括固定配对电极。固定配对电极设置在可移动电极上方，并且形成第一构件或第二构件中的至少一者的一部分。

附图说明

当参考附图阅读某些示例性实施例的以下具体实施方式时，本公开的这些和其它特征、方面和优点将变得更好理解，在附图中，相同的附图标记在所有图中表示相同的技术，在附图中：

图1是根据本公开的所描述的实施例的麦克风系统的透视图；

图2A至图2C是根据本公开的所描述的实施例的具有各种开口配置的图1的麦克风系统的截面视图；

图3是根据本公开的所描述的实施例的麦克风的截面视图；

图4是根据本公开的所描述的实施例的麦克风的截面视图；以及

图5是根据本公开的所描述的实施例的麦克风的截面视图。

具体实施方式

呈现以下描述以使本领域技术人员能够制作和使用所描述的实施例，且在特定应用及其要求的上下文中提供以下描述。对所描述的实施例的各种修改对于本领域技术人员而言将是显而易见的，并且在不脱离所描述的实施例的精神和范围的情况下，本文所定义的一般原理可以应用于其它实施例和应用。因此，所描述的实施例不限于所示出的实施例，而是要符合与本文所公开的原理和特征一致的最宽范围。

本公开是一种用于客户机的麦克风系统。在客户机内有多个其它电子部件，诸如传感器装置、扬声器、图形处理器单元、计算机处理器单元、主机系统、MEMS麦克风以及直接或间接耦合到麦克风系统的任何合适的计算机实现的装置。客户机可以是个人计算机或台式计算机、膝上型计算机、蜂窝或智能电话、平板电脑、个人数字助理（PDA）、游戏控制台、音频装置、视频装置、诸如电视机的娱乐装置、车辆信息娱乐系统、可穿戴装置、娱乐或信息娱乐遥控器、薄客户机系统、厚客户机系统等。可以提出与大小、移动性或配置无关的其他合适的客户机包括任何数量的麦克风系统。