[发明专利]蒸发源和成膜装置有效
| 申请号： | 201880027546.2 | 申请日： | 2018-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN110573647B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 中村寿充;星川健儿 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 袁波;刘继富 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸发源，其具有蒸发源容器、加热装置、第一热屏蔽板以及第二热屏蔽板。蒸发源容器具有容器主体和多个喷嘴，该容器主体具有顶面并收容薄膜材料，该喷嘴与容器主体连结并从顶面突出而配置在单轴方向，该喷嘴具有放出薄膜材料的气化物质的开口部。加热装置加热容器主体。第一热屏蔽板与顶面分离地相向配置并具有多个第一开口部，该第一开口部具有比多个喷嘴的每一个对应设置的被喷嘴贯通的喷嘴的开口部大的第一开口区域。第二热屏蔽板在容器主体与第一热屏蔽板之间分别固定于多个喷嘴且与顶面分离地相向配置，并具有被喷嘴贯通的第二开口部，该第二开口部具有比第一开口区域大的外形。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源，其具有：/n蒸发源容器，其具有容器主体和多个喷嘴，所述容器主体具有顶面并收容薄膜材料，所述喷嘴与所述容器主体连结并从所述顶面突出而配置在单轴方向，所述喷嘴具有放出所述薄膜材料的气化物质的开口部；/n加热装置，其加热所述容器主体；/n第一热屏蔽板，其与所述顶面分离地相向配置并具有多个第一开口部，所述第一开口部具有比与多个所述喷嘴的每一个对应设置的被各所述喷嘴贯通的所述喷嘴的开口部大的第一开口区域；以及/n第二热屏蔽板，其在所述容器主体与所述第一热屏蔽板之间分别固定于多个所述喷嘴且与所述顶面分离地相向配置，并具有被所述喷嘴贯通的第二开口部，所述第二开口部具有比所述第一开口区域大的外形。/n
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