[发明专利]蒸发源和成膜装置

权利要求书

1.一种蒸发源，其具有：

蒸发源容器，其具有容器主体和多个喷嘴，所述容器主体具有顶面并收容薄膜材料，所述喷嘴与所述容器主体连结并从所述顶面突出而配置在单轴方向，所述喷嘴具有放出所述薄膜材料的气化物质的开口部；

加热装置，其加热所述容器主体；

第一热屏蔽板，其与所述顶面分离地相向配置并具有多个第一开口部，所述第一开口部具有比与多个所述喷嘴的每一个对应设置的被各所述喷嘴贯通的所述喷嘴的开口部大的第一开口区域；以及

第二热屏蔽板，其在所述容器主体与所述第一热屏蔽板之间分别固定于多个所述喷嘴且与所述顶面分离地相向配置，并具有被所述喷嘴贯通的第二开口部，所述第二热屏蔽板具有比所述第一开口区域大的外形。

2.根据权利要求1所述的蒸发源，其中，

所述第二热屏蔽板以点接触的方式固定在所述喷嘴。

3.根据权利要求1或2所述的蒸发源，其中，

所述第一开口部为在所述单轴方向上具有长边方向的形状。

4.根据权利要求1或2所述的蒸发源，其中，

还具有第三热屏蔽板，其在所述蒸发源容器与所述第二热屏蔽板之间与所述顶面相向地配置，并具有多个第三开口部，所述第三开口部具有比与多个所述喷嘴的每一个对应设置的被各所述喷嘴贯通的所述喷嘴的开口部大的第三开口区域。

5.根据权利要求1或2所述的蒸发源，其中，

所述第一热屏蔽板具有包围所述蒸发源容器的形状的外形，所述蒸发源容器具有顶面部和与所述顶面部相向的底面部，所述顶面部具有所述第一开口部，

所述容器主体以能够与所述加热装置的加热导致所述容器主体的热膨胀带来的所述容器主体在所述单轴方向上的伸展量对应地在所述单轴方向上移动的方式，被所述底面部支承。

6.一种成膜装置，其具有能够收容成膜对象的收容部和蒸发源，

所述蒸发源具有：

蒸发源容器，其具有容器主体和多个喷嘴，所述容器主体具有顶面并收容薄膜材料，所述喷嘴与所述容器主体连结并从所述顶面突出而配置在单轴方向，所述喷嘴具有将所述薄膜材料的气化物质向所述成膜对象放出的开口部；

加热装置，其加热所述容器主体；

第一热屏蔽板，其与所述顶面分离地相向配置并具有多个第一开口部，所述第一开口部具有比与多个所述喷嘴的每一个对应设置的被各所述喷嘴贯通的所述喷嘴的开口部大的第一开口区域；以及

第二热屏蔽板，其在所述容器主体与所述第一热屏蔽板之间分别固定在多个所述喷嘴且与所述顶面分离地相向配置，并具有被所述喷嘴贯通的第二开口部，所述第二热屏蔽板具有比所述第一开口区域大的外形。