[发明专利]检查治具以及基板检查装置有效
| 申请号： | 201880027222.9 | 申请日： | 2018-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN110573889B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 长沼正树;高桥学;加藤靖典 | 申请（专利权）人： | 日本电产理德股份有限公司;风琴针株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/06 | 分类号： | G01R1/06;G01R1/067;G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 罗英;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市右京区西京极堤*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够以产生有弯曲的状态保持探针，并且容易进行探针的更换的检查治具及基板检查装置。本发明包括活动平板，在检查侧支撑体的相向平板，形成有用以插通探针的前端部的探针插通孔，在电极侧支撑体的支撑平板，设置有使探针的后端部插通而进行支撑的探针支撑孔，在活动平板，设置有用以使探针贯通的探针贯通孔，检查治具包括能够切换容许状态与约束状态的定位孔及接收孔，所述容许状态是使活动平板能够沿与平坦面平行的容许方向移动的状态，所述约束状态是以探针贯通孔的中心相对于探针支撑孔的中心沿容许方向偏离规定的偏离量的方式设置活动平板的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种检查治具，用以使探针与设置在成为检查对象的基板的检查点相接触，所述检查治具包括：/n检查侧支撑体，具有相向平板，所述相向平板上设置有与所述基板相相向地配置的相向面；/n电极侧支撑体，相向配置在与所述相向平板的所述相向面相反之侧，具有支撑平板及平坦面；/n连结构件，将所述检查侧支撑体与所述电极侧支撑体隔开规定距离加以保持；以及/n活动平板，相对于所述平坦面平行地滑动自如地相向配置；且/n在所述相向平板，形成有用以插通所述探针的前端部的探针插通孔，/n在所述支撑平板，对应于所述相向平板的探针插通孔而设置有使所述探针的后端部插通而进行支撑的探针支撑孔，/n在所述活动平板，对应于所述支撑平板的探针支撑孔而设置有用以使所述探针贯通的探针贯通孔，/n所述检查治具进而包括能够切换容许状态与约束状态的切换部，所述容许状态是使所述活动平板能够沿与所述平坦面平行的容许方向移动的状态，所述约束状态是以所述探针贯通孔的中心相对于所述探针支撑孔的中心沿所述容许方向偏离规定的偏离量的方式设置所述活动平板的状态。/n
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