[发明专利]检查治具以及基板检查装置

说明书

本发明提供一种能够以产生有弯曲的状态保持探针，并且容易进行探针的更换的检查治具及基板检查装置。本发明包括活动平板，在检查侧支撑体的相向平板，形成有用以插通探针的前端部的探针插通孔，在电极侧支撑体的支撑平板，设置有使探针的后端部插通而进行支撑的探针支撑孔，在活动平板，设置有用以使探针贯通的探针贯通孔，检查治具包括能够切换容许状态与约束状态的定位孔及接收孔，所述容许状态是使活动平板能够沿与平坦面平行的容许方向移动的状态，所述约束状态是以探针贯通孔的中心相对于探针支撑孔的中心沿容许方向偏离规定的偏离量的方式设置活动平板的状态。

技术领域

本发明涉及一种用以使探针(probe)与设置在成为检查对象的基板上的检查点相接触的检查治具、及具备所述检查治具的基板检查装置。

背景技术

检查治具是用以经由探针(接触销)，自检查装置对包含基板的检查对象所具有的检查对象部(检查点)供给电力(电信号等)，并且通过检测来自检查对象的电输出信号，来检测检查对象的电气特性，或进行动作试验的实施等。在本说明书中，将设定在检查对象的基板上的检查对象部称为“检查点”。

例如，当在成为检查对象的基板上搭载集成电路(integrated circuit，IC)等半导体电路或电阻器等电气、电子部件时，配线或焊料凸块(bump)等的电极成为检查点。此时，由于检查点保证能够将电信号准确地传递至这些搭载部件，故而测定封装电气、电子部件之前的印刷配线基板、液晶面板或电浆显示面板(plasma display panel)所形成的配线上的规定的检查点之间的电阻值等电气特性，来判断所述配线的好坏。

具体而言，所述配线的好坏的判定是通过如下方式来进行：使电流供给用的探针及电压测定用的探针抵接于检查对象的各检查点，自所述电流供给用的探针将测定用电流供给至检查点，测定抵接于检查点的电压测定用的探针的前端间的配线中所产生的电压，基于这些供给电流及经测定的电压，算出规定的检查点之间的配线的电阻值。

已知有如下构成的检查治具：为了使此种探针与检查点相接触，将两块导板(guide plate)固定在框体上且隔开规定间隔而相向配置，并且使探针插通于两块导板，由此保持探针。而且，已知有如下的检查治具：通过利用两块导板以弯曲的状态保持此种探针，而使探针与检查点弹性接触，从而使接触稳定性提高(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开平9-274054号公报

发明内容

然而，存在如下情况：若反复进行基板检查，则会针对检查点反复进行探针的接离，从而使探针损伤。经损伤的探针必须自两块导板拔出而进行更换。然而，自两块导板难以直接拔出以弯曲的状态保持着的探针。因此，必须例如拆下将导板固定在框体的螺钉等而对检查治具进行分解，更换探针而再次组装检查治具，从而存在要耗费工夫来更换探针的问题。

本发明的目的在于提供一种能够以产生有弯曲的状态保持探针，并且容易进行探针的更换的检查治具及基板检查装置。